(19)
(11) EP 0 635 142 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.01.1995  Patentblatt  1995/04

(21) Anmeldenummer: 93911443.0

(22) Anmeldetag:  03.04.1993
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 1/ 10( . )
G02B 26/ 00( . )
H01S 3/ 105( . )
H01S 5/ 00( . )
H01S 3/ 02( . )
H01S 5/ 40( . )
G02B 5/ 08( . )
G02B 26/ 08( . )
H01S 3/ 121( . )
H01S 5/ 14( . )
H01S 3/ 0941( . )
H01S 5/ 42( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1993/000829
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1993/021553 (28.10.1993 Gazette  1993/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE DK ES FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 09.04.1992 DE 19924211898
13.05.1992 DE 19924215797

(71) Anmelder: Deutsche Aerospace AG
D-81663 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HEINEMANN, Stefan
    D-81379 München (DE)
  • MEHNERT, Axel
    D-8920 Schongau (DE)
  • KROY, Walter
    D-8012 Ottobrunn (DE)
  • PEUSER, Peter
    D-8012 Riemerling (DE)
  • SCHMITT, Nikolaus
    D-8000 München 40 (DE)
  • SEIDEL, Helmut
    D-8130 Starnberg (DE)

   


(54) LASERSYSTEM MIT MIKROMECHANISCH BEWEGTEN SPIEGEL