(19)

(11)

EP 0 640 185 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 01.03.1995  Patentblatt  1995/09 (21) Anmeldenummer: 93911777.0 (22) Anmeldetag:  23.04.1993

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  F04D 19/ 04( . ) F04D 25/ 16( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1993/000984 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1993/023672 (25.11.1993 Gazette  1993/28)

(84) Benannte Vertragsstaaten: CH DE FR GB IT LI (30) Priorität: 16.05.1992 DE 19924216237 (71) Anmelder: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT D-63450 Hanau (DE)	(72) Erfinder: KABELITZ, Hans-Peter D-5000 Köln 90 (DE) MÜHLHOFF, Martin Los Gatos, CA 95032 (US) KRIECHEL, Hans D-5303 Bornheim 1 (DE) FLEISCHMANN, Frank D-5010 Bergheim-Glessen (DE) (74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys.  Aggerstrasse 24 D-50859 Köln D-50859 Köln (DE)