(19)
(11) EP 0 643 873 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.03.1995  Patentblatt  1995/12

(21) Anmeldenummer: 93909794.0

(22) Anmeldetag:  25.05.1993
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 29/ 06( . )
H01L 21/ 203( . )
H01L 29/ 12( . )
H01L 29/ 80( . )
 H01L 21/ 20( . )
H01L 21/ 335( . )
H01L 29/ 775( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1993/000459
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1993/026036 (23.12.1993 Gazette  1993/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(30) Priorität: 05.06.1992 DE 19924218650

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
D-80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HEINECKE, Harald
    D-89129 Langenau (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES QUANTENDRAHTES