(19)
(11) EP 0 646 283 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.04.1995  Patentblatt  1995/14

(21) Anmeldenummer: 93911733.0

(22) Anmeldetag:  03.05.1993
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 5/ 18( . )
 H01J 33/ 04( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1993/000402
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1993/026032 (23.12.1993 Gazette  1993/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT NL

(30) Priorität: 15.06.1992 DE 19924219562

(71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
D-80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • ROEDER, Olaf
    D-8054 Dresden (DE)
  • SEYFERT, Ulf
    D-8051 Dresden (DE)
  • PANZER, Siegfried
    D-8021 Dresden (DE)

   


(54) ELEKTRONENSTRAHLAUSTRITTSFENSTER