(19)

(11)

EP 0 647 356 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 12.04.1995  Patentblatt  1995/15 (21) Anmeldenummer: 93912618.0 (22) Anmeldetag:  24.06.1993

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/ 8242( . ) H01L 21/ 822( . ) H01L 27/ 108( . ) H01L 21/ 02( . ) H01L 27/ 04( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1993/000551 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1994/000874 (06.01.1994 Gazette  1994/02)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT DE FR GB IE IT NL (30) Priorität: 30.06.1992 DE 19924221431 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT D-80333 München (DE)	(72) Erfinder: AUER, Stefan D-85221 Dachau (DE) KOHLHASE, Armin D-85579 Neubiberg (DE) MELZNER, Hanno D-82008 Unterhaching (DE)