(19)

(11)

EP 0 648 283 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 19.04.1995  Patentblatt  1995/16 (21) Anmeldenummer: 93915829.0 (22) Anmeldetag:  07.07.1993

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 10/ 02( . ) C23C 10/ 48( . ) C23C 10/ 08( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1993/001765 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1994/001594 (20.01.1994 Gazette  1994/03)

(84) Benannte Vertragsstaaten: CH FR GB LI NL (30) Priorität: 07.07.1992 DE 19924222211 (71) Anmelder: MTU MOTOREN- UND TURBINEN-UNION MÜNCHEN GMBH D-80976 München (DE)	(72) Erfinder: GRUNKE, Richard D-81373 München (DE) PEICHL, Lothar, Dr. D-85221 Dachau (DE) WALTER, Heinrich D-86136 Friedberg (DE) PILLHÖFER, Horst D-85244 Röhrmoos (DE) BRUNGS, Frank D-85221 Dachau (DE) (74) Vertreter: Baum, Wolfgang, Dipl.-Ing.  MTU MOTOREN- UND TURBINEN-UNION MÜNCHEN GMBH Postfach 50 06 40 D-80976 München D-80976 München (DE)