(19)
(11) EP 0 650 534 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.05.1995  Patentblatt  1995/18

(21) Anmeldenummer: 93915935.0

(22) Anmeldetag:  16.07.1993
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 2/ 20( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1993/001879
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1994/002658 (03.02.1994 Gazette  1994/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE DK ES FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 16.07.1992 DE 19924223343
15.01.1993 DE 19934300868
02.03.1993 DE 19934306394

(71) Anmelder:
  • DUMA MASCHINEN- UND ANLAGENBAU BETEILIGUNGS GmbH
    D-47167 Duisburg (DE)
  • PANNENBECKER, Heinrich
    D-46569 Hünxe (DE)
  • JABS, Ronald
    D-47447 Moers (DE)

(72) Erfinder:
  • PANNENBECKER, Heinrich
    D-46569 Hünxe (DE)
  • JABS, Ronald
    D-47447 Moers (DE)

(74) Vertreter: Schippan, Ralph, Dr.-Ing. 
Cohausz & Florack Patentanwälte Postfach 33 02 29
D-40435 Düsseldorf
D-40435 Düsseldorf (DE)

   


(54) BESCHICHTUNGSVORRICHTUNG