(19)

(11)

EP 0 650 537 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 03.05.1995  Patentblatt  1995/18 (21) Anmeldenummer: 93914605.0 (22) Anmeldetag:  02.07.1993

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 18/ 22( . ) C23C 18/ 26( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1993/000599 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1994/001599 (20.01.1994 Gazette  1994/03)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT DE ES FR GB IT NL SE (30) Priorität: 02.07.1992 DE 19924221948 (71) Anmelder: ATOTECH Deutschland GmbH D-10553 Berlin (DE)	(72) Erfinder: BRANDES, Mariola D-12309 Berlin (DE) BRESSEL, Burkhard D-14057 Berlin (DE) MIDDEKE, Hermann-Josef D-14057 Berlin (DE) SCHREIER, Hans-Jürgen D-12167 Berlin (DE) (74) Vertreter: Effert, Udo, Dipl.-Ing.  Patentanwalt Radickestrasse 48 D-12489 Berlin D-12489 Berlin (DE)