(19)

(11)

EP 0 653 104 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 17.05.1995  Patentblatt  1995/20 (21) Anmeldenummer: 93903146.0 (22) Anmeldetag:  29.01.1993

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 25/ 18( . ) H01L 23/ 13( . ) H01L 25/ 065( . ) H01L 21/ 60( . ) H01L 25/ 04( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1993/000085 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1994/003924 (17.02.1994 Gazette  1994/05)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LI LU NL PT SE (30) Priorität: 30.07.1992 DE 19924225154 (71) Anmelder: MEYERHOFF, Dieter D-40724 Hilden (DE)

(72) Erfinder: KNOBLAUCH, Wolfgang D-5912 Seebach (DE) JAHN, Gisela D-5912 Seebach (DE) SANDER, Roland D-5901 Kittelstahl (DE) KLEMM, Roland D-5900 Eisenach (DE) ALBIN, Dieter D-5912 Seebach (DE) PAHL, Siegfried D-5912 Seebach (DE) BAAKE, Dieter D-5912 Seebach (DE) PERSCHKE, Stephan D-4330 Mülheim (DE) (74) Vertreter: Liedtke, Klaus, Dr.  Cyriakstrasse 27 Postfach 956 D-99019 Erfurt D-99019 Erfurt (DE)