(19)
(11) EP 0 663 045 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
19.07.1995  Patentblatt  1995/29

(21) Anmeldenummer: 93919226.0

(22) Anmeldetag:  31.08.1993
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04C 25/ 02( . )
F04C 23/ 00( . )
 F04C 18/ 12( . )
F04C 29/ 04( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1993/002349
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1994/008141 (14.04.1994 Gazette  1994/09)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB IT LI

(30) Priorität: 02.10.1992 DE 19924233142

(71) Anmelder: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
D-63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • KOBUS, Andreas
    D-58332 Schwelm (DE)
  • GOTTSCHLICH, Uwe
    D-50321 Brühl (DE)
  • BRENNER, Lothar
    D-53902 Bad Münstereifel (DE)
  • KRIEHN, Hartmut
    D-50997 Köln (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Aggerstrasse 24
D-50859 Köln
D-50859 Köln (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER KLAUENVAKUUMPUMPE UND FÜR DIE DURCHFÜHRUNG DIESES BETRIEBSVERFAHRENS GEEIGNETE KLAUENVAKUUMPUMPE