(19)

(11)

EP 0 666 932 A1

(12)

(43) Date de publication: 16.08.1995  Bulletin  1995/33 (21) Numéro de dépôt: 93922924.0 (22) Date de dépôt:  09.10.1993

(51) Int. Cl.:  C23C 2/ 30( . ) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP1993/002766 (87) Numéro de publication internationale: WO 1994/011542 (26.05.1994 Gazette  1994/12)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH DE DK ES FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorité: 06.11.1992 BE 19920000964 (71) Demandeur: UM Engineering S.A. B-1348 Louvain-La-Neuve (BE)	(72) Inventeurs: LOUIS, Pierre Edouard M.T.L.J.L. B-1300 Wavre (BE) PIEDBOEUF, Robert Charles Lucien B-1150 Bruxelles (BE) VEREYEN, Christian Paul Marie Ghislain B-1200 Bruxelles (BE) (74) Mandataire: Saelemaekers, Juul, et al  c/o UNION MINIERE Gulledelle 92 B-1200 Brussels B-1200 Brussels (BE)