(19)

(11)

EP 0 678 193 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 25.10.1995  Patentblatt  1995/43 (21) Anmeldenummer: 95900609.0 (22) Anmeldetag:  09.11.1994

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01J 3/ 10( . ) G01N 21/ 64( . ) G01N 21/ 01( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1994/001318 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1995/013527 (18.05.1995 Gazette  1995/21)

(84) Benannte Vertragsstaaten: CH DE FR GB LI (30) Priorität: 11.11.1993 DE 19934338531 (71) Anmelder: Leica Lasertechnik GmbH D-69120 Heidelberg (DE)	(72) Erfinder: ENGELHARDT, Johann D-76669 Bad Schönborn (DE) (74) Vertreter: Stamer, Harald, Dipl.-Phys., et al  c/o Leica Industrieverwaltung GmbH, Konzernstelle Patente + Marken, Postfach 20 20 D-35530 Wetzlar D-35530 Wetzlar (DE)