(19)
(11) EP 0 689 222 A3

(12) DEMANDE DE BREVET EUROPEEN

(88) Date de publication A3:
07.02.1996  Bulletin  1996/06

(43) Date de publication A2:
27.12.1995  Bulletin  1995/52

(21) Numéro de dépôt: 95400910.6

(22) Date de dépôt:  24.04.1995
(51) Int. Cl.6: H01J 9/02, H01J 1/30
(84) Etats contractants désignés:
DE GB IT

(30) Priorité: 25.04.1994 FR 9404948
22.11.1994 FR 9413972

(71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
F-75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • Meyer, Robert
    F-38330 St. Nazaire les Eymes (FR)
  • Vaudaine, Pierre
    F-38100 Seyssins (FR)
  • Rambaud, Philippe
    F-38640 Claix (FR)

(74) Mandataire: Dubois-Chabert, Guy et al
c/o BREVATOME 25, rue de Ponthieu
75008 Paris
75008 Paris (FR)


(56) Documents cités: : 
   
       


    (54) Procédé de réalisation de sources d'électrons à micropointes et source d'électrons à micropointes obtenue par ce procédé


    (57) Ce procédé de réalisation d'une source d'électrons comportant un système de conducteurs cathodiques (8), de grilles (10a) superposées avec un isolant intermédiaire (23), et de micropointes (18) déposées sur les conducteurs cathodiques, les grilles étant géométriquement comprises entre un plan inférieur (I) et un plan supérieur (S) est caractérisé en ce que l'on soumet les micropointes à :
    • une première étape de nettoyage, puis à :
    • une étape d'affinage par gravure superficielle.

    Application à une structure de micropointes en deux parties.






    Rapport de recherche