(19)
(11)
EP 0 689 721 A1
(12)
(43)
Date de publication:
03.01.1996
Bulletin 1996/01
(21)
Numéro de dépôt:
94909965.0
(22)
Date de dépôt:
15.03.1994
(51)
Int. Cl.:
G02F
1/
1343
( . )
G02F
1/
1368
( . )
H01L
21/
77
( . )
H01L
27/
12
( . )
H01L
29/
786
( . )
G02F
1/
136
( . )
H01L
21/
336
( . )
H01L
21/
84
( . )
H01L
29/
49
( . )
(86)
Numéro de dépôt:
PCT/FR1994/000278
(87)
Numéro de publication internationale:
WO 1994/021102
(
29.09.1994
Gazette 1994/22)
(84)
Etats contractants désignés:
DE FR GB NL
(30)
Priorité:
16.03.1993
FR 19930003012
(71)
Demandeur:
THOMSON-LCD
F-75008 Paris (FR)
(72)
Inventeurs:
SANSON, Eric
F-92402 Courbevoie Cédex (FR)
SZYDLO, Nicolas
F-92402 Courbevoie Cédex (FR)
HEPP, Bernard
F-92402 Courbevoie Cédex (FR)
(74)
Mandataire:
Ruellan-Lemonnier, Brigitte, et al
THOMSON multimedia, Département Brevets
F-92050 Paris La Défense
F-92050 Paris La Défense (FR)
(54)
PROCEDE DE FABRICATION DE TRANSISTORS A COUCHES MINCES ETAGES DIRECTS