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EP 0 693 767 B1 |
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EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
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Hinweis auf die Patenterteilung: |
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25.08.1999 Patentblatt 1999/34 |
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Anmeldetag: 27.06.1995 |
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Internationale Patentklassifikation (IPC)6: H01J 9/40 |
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Einrichtung zum vakuumdichten Verschliessen von dauerhaft vakuumdichten Behältern
Device for vacuum-tight sealing of permanently vacuum-tight containers
Dispositif pour le scellement étanche au vide de récipients durablement étanches au
vide
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Benannte Vertragsstaaten: |
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DE FR IT NL |
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Priorität: |
18.07.1994 DE 4425160
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Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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24.01.1996 Patentblatt 1996/04 |
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Patentinhaber: Pfeiffer Vacuum GmbH |
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35614 Asslar (DE) |
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Erfinder: |
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- Blecker, Armin
D-35614 Asslar (DE)
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Entgegenhaltungen: :
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- VAKUUM IN DER PRAXIS Nr. 3, 1991, WEINHEIM DE, Seiten 196 - 198 URBAN, D. 'Moderne
Bildröhrenfertigung mit Turbo-Molekularpumpen'
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| Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
[0001] Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum vakuumdichten Verschließen dauerhaft
vakuumdickten Behältern z.B. Elektronenröhren nach dem Oberbegriff des Patentanspruches.
[0002] Die Evakuierung von dauerhaft vakummdichten Behältern wie z.B. Elektronenröhren erfolgt
durch speziell für den jeweiligen Produktionsprozess geeignete Pumpsysteme. Röhren
mit Glasumhüllung werden in der Regel durch Glasrohre mit den Pumpsystemen verbunden.
Diese Glasrohre, in der Fachsprache Pumpstengel genannt, werden nach der Evakuierung
durch Abschmelzen vom Pumpsystem getrennt. Der der Röhre zugewandte Teil des Pumpstengels
bleibt Bestandteil des Röhrenfußes, auf dem innere Bauteile der Röhre montiert sind.
Für die Serienfertigung wird zum Abschmelzen eine Vorrichtung verwendet, welche als
Abschmelzeinheit bezeichnet wird.
[0003] Diese Abschmelzeinheit besteht aus mehreren Teilen, welche seither entsprechend der
Abb. 1 in axialer Richtung zusammenmontiert sind: (S. Urban, D.: Moderne Bildröhrenfertigung
mit Turbo- Molekularpumpen, Vakuum in der Praxis (1991) Nr.3 5.196-198)
[0004] Eine Elektronenröhre 1, wird durch ein Pumpsystem 2 evakuiert. Die Verbindung zwischen
Elektronenröhre und Pumpsystem erfolgt über ein rohrförmiges Bauelement 4, den Pumpstengel.
Um den Leitwert in dem Pumpstengel möglichst groß zu halten und somit die Auspumpzeit
auf ein Minimum zu begrenzen, muß dieser so kurz wie möglich sein. Dies bedeutet,
daß der Röhrensockel 16 und das Pumpsystem 2 dicht beieinander angeordnet sein müssen.
Zwischen dem Röhrensockel 16 und dem Pumpsystem 2 befindet sich die Abschmelzeinheit
5. Diese besteht aus einem Gehäuse 6 mit Deckel 8, verschiedenen Isolationselementen
9, 10, 11 und der Heizwendel 6. Zum Wechseln der Heizwendel muß die Abschmelzeinheit
demontiert werden. Dies geschieht in axialer Richtung nach Lösen der Schrauben 12.
Die aus vorgenannten Gründen bedingte sehr enge axiale Bauweise und Anbauten 3, welche
zur Behandlung der Elektronenröhre und deren Bauteile während des Auspumpprozesses
notwendig sind machen die Demontage äußerst umständlich und zeitraubend.
[0005] Die Heizwendel ist ein thermisch hochbelastetes Teil und somit einem großen Verschleiß
ausgesetzt. Dadurch ist ein häufiger Wechsel dieses Bauteilsl bedingt. Für eine Serienfertigung
stellt das Auswechseln dieser Bauteile und andere Wartungsarbeiten. einen wesentlichen
Faktor in Aufwand und Zeit dar. Ein schneller und rationeller Ablauf dieses Fertigungsvorgangs
ist anzustreben. Dies ist, wie oben gezeigt wurde, mit der herkömmlichen Konstruktion
nur unbefriedigend gelöst.
[0006] Eine weitere gattungsgemäße Einrichtung ist aus US-A-3 100 251 bekannt.
[0007] Die Erfindung hat sich zur Aufgabe gestellt, die Abschmelzeinheit so zu konstruieren,
daß im Rahmen einer Serienfertigung das Auswechseln der Heizwendel und andere Wartungsarbeiten
ohne großen Aufwand an Zeit und Kosten erfolgen kann.
[0008] Diese Aufgabe wird durch den kennzeichnenden Teil des 1. Patentanspruches gelöst.
Der Anspruch 2 stellt eine weitere Ausgestaltungs form der Erfindung dar. Durch die
erfindungsgemäße Konstruktion ist es möglich, die Abschmelzeinheit auf einfache Weise
ohne Werkzeuge für den Wechsel der Heizwendel in radialer Richtung zu demontieren
und wieder zusammen zu bauen.
[0009] Die Erfindung wird am Beispiel von Elektronenröhren erläutert, ist jedoch nicht auf
das vakuumdichte Verschließen von Elektronenröhren beschränkt, sondern bezieht sich
auf alle Behälter, welche dauerhaft vakuumdicht durch Abschmelzen verschlossen werden.
[0010] Anhand der Abb. 2 soll die Erfindung näher erläutert werden.
[0011] Bei der erfindungsgemäßen Anordnung ist die Abschmelzeinheit so konstruiert, daß
sie nicht mehr in axialer Richtung demontiert werden muß. Sie besteht aus dem Gehäuse
13, welches die Heizwendel 6 und die Isolationselemente in axialer Richtung umfaßt.
Ein Bauteil 14 des Gehäuses 13 ist seitlich herausnehmbar. Mit diesem Bauteil sind
die Heizwendel 6 und die Isolationselemente ebenfalls herausnehmbar, ohne daß Verschraubungen
gelöst werden müssen. Durch ein Arretierelement 15, z. B. eine Feder, welche vor dem
Herausnehmen des Bauteils 14 gelöst wird, wird die gesamte Abschmelzeinheit zusammengehalten.
1. Einrichtung zum vakuumdichten Verschließen von dauerhaft vekummdichten Behältern mit
einem Vakuumpumpsystem (2) einem rohrförmigen Verbindungselement (4) zwischen Behälter
(1) und Vakuumpumpsystem (2), welches nach Evakuierung des Behälters dauerhaft vakuumdicht
durch Abschmelzen verschlossen wird, wobei das Abschmelzen durch eine spezielle Abschmelzeinheit
(5) ausgeführt wird und die Abschmelzeinheit mit einer Heizwendel (6) ausgestattet
ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizwendel (6) von einem Gehäuse (7) radial und
axial umfaßt wird und ein Bauteil (14) des Gehäuses (7) seitlich herausnehmbar ist,
wobei mit dem Bauteil (14) auch die Heizwendel (6) herausnehmbar ist, ohne daß Verschraubungen
gelöst werden müssen und daß zur Halterung des Bauteils (14) ein Arretierelement (15),
vorhanden ist.
2. Einrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß als Arretierelement (15) eine
Feder verwendet wird.
1. A device for the vacuum-tight sealing of permanently vacuum-tight containers with
a vacuum-pump system (2), a tubular connection element (4) between containers (1)
and vacuum-pump system (2), which after evacuation of the containers, is permanently
sealed in vacuum-tight manner by a melting process, the melting process being implemented
by a specific melting unit (5) and the melting unit being provided with a heating
coil (6), characterised in that the heating coil (6) is surrounded in the radial and
axial directions by a housing (7) and a structural part (14) of the housing (7) is
laterally removable, the heating coil (6) also being removable with the structural
part (14), without having to release screw connections, and in that a stop element
(15) is provided for securing the component (14).
2. A device according to claim 1, characterised in that a spring is used as the stop
element (15).
1. Dispositif pour la fermeture étanche au vide de récipients durablement étanches au
vide, comportant un système de pompage à vide (2), un élément de liaison (4) tubulaire
entre le récipient (1) et le système de pompage à vide (2), lequel élément de liaison
est, une fois le vide fait dans le récipient, fermé de manière durablement étanche
au vide par scellement, le scellement étant réalisé par une unité de scellement (5)
spéciale et l'unité de scellement étant équipée d'un filament chauffant (6), caractérisé
en ce que le filament chauffant (6) est entouré radialement et axialement par un boîtier
(7) et une pièce (14) du boîtier (7) peut être retirée latéralement, le filament chauffant
(6) pouvant également être enlevé avec la pièce (14) sans avoir à défaire des vissages
et en ce qu'il existe un élément d'arrêt (15) pour maintenir la pièce (14).
2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un ressort est utilisé comme
élément d'arrêt (15).