[0001] Die Erfindung betrifft eine Anordnung sowie ein Herstellungsverfahren für plattenförmige
Piezoaktoren, insbesondere für Tintendruckköpfe, die aus Tintendruckmodulen in Stapelbauweise
zusammengesetzt sind.
[0002] Derartige Tintendruckköpfe sind für den Einsatz in kleinen schnellen Druckern vorgesehen,
die wiederum Bestandteil von modernen Maschinen zum Frankieren von Postgut oder zum
Drucken von Adressen sind. Im Unterschied zum üblichen Bürodrucker mit zeilenweisem
Abdruck erfolgt der Druck bei diesen Maschinen als einmaliger Frankierabdruck in einem
Durchlauf des Postgutes. Entsprechend dieser wesentlich größeren Druckbreite - ungefähr
ein Inch - ist die Anzahl untereinander anzuordnender Tintendüsen und damit auch die
Anzahl der Piezoaktoren in einem Tintendruckkopf erheblich größer als bei Tintendruckköpfen
für Bürodrucker. Um den modernen Komfort - Klischees mit Wort- und Bildzeichen - für
Frankiermaschinen mit guter Druckqualität zu erfüllen, sind Druckauflösungen von annähernd
200 dpi erforderlich, das bedeutet Tintendruckköpfe mit derselben Düsen- und Piezoaktorenzahl
bei einer Druckbreite von einem Inch. Zwangsläufig werden derartige Tintendruckköpfe
in Planar- beziehungsweise Stapelbauweise ausgeführt, einerseits aus Gründen der zulässigen
Dimensionen und damit der zu erzielenden Packungsdichte und andererseits aus Gründen
einer ökonomischen Fertigung, vergleiche auch DE 42 25 799 A1.
[0003] Überlicherweise werden hierbei als Piezoaktoren Flächenschwinger eingesetzt, bei
denen zwischen zwei Metallelektroden ein piezoelektrisches Material, zum Beispiel
Blei-Zirkonat-Titanat (PZT), angeordnet ist. Die Trägerplatte - zugleich Membranplatte
über den Tintendruckkammern - für die Piezoaktoren kann aus Glas, Keramik, Plast oder
Metall bestehen. Im letzten Fall könnte eine Elektrode entfallen, allerdings ist dann
ein leitfähiger Kleber erforderlich. Die Art und Weise der Anordnung, Aufbringung
und Kontaktierung der Piezoaktoren ist dabei ein wesentliches Problem.
Es ist ein Planartintendruckkopf bekannt, vergleiche DE 37 10 654 A1, der aus Metallplatten
zusammengesetzt ist. Eine der Platten ist eine Membranplatte aus Nickel mit einer
Plattendicke von 0,03 mm, auf der entsprechend der Anzahl der Düsen Piezoplättchen
von einem Durchmesser von ungefähr 1 mm als Antriebselemente für die Druckkammern
angeordnet sind. An die Membranplatte schließt sich eine Druckkammerplatte aus Nickel
mit einer Plattendicke von 0,2 mm an; das entspricht der gewünschten Höhe der Druckkammern.
Die Piezoplättchen werden einzeln in den Bereichen über den Druckkammern auf die Membranplatte
aufgeklebt oder aufgelötet. Der Montage- und Justieraufwand ist hierfür beträchtlich.
Analog sind auch die Verhältnisse bei einer anderen bekannten Lösung für einen Tintendruckkopf,
vergleiche US 4,703,333. Hier werden die von der Membranplatte abgewandten Beläge
der Piezoaktoren mit den Anschlüssen eines Bandleiters kontaktiert.
[0004] Weiterhin ist ein piezoelektrischer Tintendruckkopf mit einem monolithischen Piezokeramikkörper
bekannt, vergleiche DE 38 05 279 A1, der parallel nebeneinander angeordnete Wandler
hat. Jeder Wandler weist ein planares, piezoelektrisches Antriebselement, eine Druckkammer,
einen Tintenkanal und eine Düse auf. Die Druckkammern, die Tintenkanäle und die Düsen
sind als Hohlräume in einem Piezokeramikkörper ausgebildet. Jedes Antriebselement
weist eine äußere Elektrode, eine innere Elektrode und eine zwischen den Elektroden
angeordnete aktive Piezokeramikschicht auf. Die Antriebselemente sind durch Einschnitte
in der aktiven Piezokeramikschicht akustisch voneinander separiert. Mit anderen Worten,
die Einschnitte sollen das Übersprechen zwischen den einzelnen Antriebselementen verhindern.
Zur Herstellung des monolithischen Piezokeramikkörpers werden Piezokeramikrohfolien,
übereinander gestapelt, unter Vakuum gepreßt und gesintert. Eine Piezokeramikrohfolie
ist durch Ätzen strukturiert; die dabei entstandenen Hohlräume entsprechen der Form
der Druckkammern, der Druckkammerausgänge sowie der Tintenkanäle. Das Ätzen erfolgt
mittels Sprühätzen oder Laserätzen. Auf die strukturierte Piezokeramikrohfolie wird
eine Zwischenrohfolie aus Piezokeramik gelegt, die einseitig metallisiert ist. Nach
dem Sintern bildet die Piezokeramik der Zwischenrohfolie die Druckkammerwände, wobei
die Metallisierung auf der von den Druckkammern abgewandten Seite liegt. Die Metallisierung
wird durch Bedrucken der Zwischenrohfolie mit einer Metallpaste hergestellt. Sie bildet
nach dem Sintern die miteinander verbundenen inneren Elektroden. Auf der Zwischenrohfolie
ist eine obere Piezokeramikrohfolie angeordnet, aus der nach dem Sintern die aktiven
Piezokeramikschichten entstehen.
[0005] Nach dem Sintern der gestapelten und gepreßten Piezokeramikrohfolien werden die Öffnungen
der Tintenkanäle durch Materialabtrag bei mechanischer Bearbeitung freigelegt. Die
äußeren Elektroden werden auf die äußere Seite der aktiven Piezokeramikschichten durch
Sputtern unter Verwendung einer Maske oder durch Siebdrucken aufgebracht. Anschließend
erfolgt das Polarisieren der Wandler und das Separieren der Antriebselemente. Der
so entstandene Piezokeramikkörper wird mit Anschlüssen eines Anschlußbandes kontaktiert
und in ein Gehäuse oder einen Halterahmen eingesetzt.
[0006] Wie aus einem anderen bekannten Verfahren zur Herstellung eines Piezokeramik-Elementes
für Tintenstrahlschreiber hervorgeht, vergleiche DE 37 33 109 A1, und das gleichfalls
auf der Sinterung von Piezokeramikrohfolien beruht, sind Sintertemperaturen von 1100
bis 1300
o C in Sauerstoffatmosphäre erforderlich. Als Elektrodenmaterial, daß für den Sinterprozeß
geeignet ist, werden Platin oder Metalle der Platingruppe eingesetzt. Beide letztgenannte
Lösungen haben den Nachteil, daß zeit- und energieaufwendige Hochtemperaturprozesse
und teures Elektrodenmaterial erforderlich sind. Hinzu kommt, daß erst der fertige
monolithische Piezokeramikkörper polarisiert werden kann. Das Elektrodenmaterial muß
gegenüber der Tinte korrosionsbeständig sein, da eine Elektrode im Tintenraum untergebracht
ist.
[0007] Schließlich ist noch ein Verfahren zum Bestücken eines Tintenstrahldurckkopfes mit
Piezoaktoren bekannt, vergleiche DE 38 04 165 A1, bei dem zunächst eine Piezokeramikplatte
mit einer Membranplatte fest verbunden wird und danach erst eine Trennung der Piezoaktoren
von der Piezokeramikplatte erfolgt. Die Membranplatte besteht aus Glas und ist auf
der der Piezokeramikplatte zugewandten Seite mit einer Zink- oder Nickeloxydschicht
versehen. Beide Platten sind mittels eines Klebers verbunden. Die Piezoaktoren werden
mittels einer Trennvorrichtung, wie Laserstrahlvorrichtung oder Trennschleifmaschine,
vereinzelt. Zweckmäßigerweise werden die Piezoaktoren von der Piezokeramikplatte schon
vor der Klebeverbindung bis auf einen Verbindungssteg getrennt. Die Piezokeramikplatte
dient auf diese Weise als Montagehilfe und verhindert eine Falschpolung. Die Metalloxydschicht
auf der Glasplatte stellt die gemeinsame Elektrode für die Piezoaktoren dar. Damit
ein sicherer Kontakt zwischen der einen Seite der Piezoaktoren und der Metalloxydschicht
besteht, ist ein leitfähiger Kleber erforderlich. Metallschichten auf Glassubstrat
haben bekanntermaßen eine schlechte Haftung. Da die Fügeverbindung zwischen der metallisierten
Glasmembran und den Piezoaktoren aufgrund der periodischen Schwingungen starken mechanischen
Belastungen unterliegt, kann es zu Ablösungen der Metallschicht vom Glas und damit
zum Ausfall des Druckmoduls kommen.
Zweck der Erfindung ist eine Vereinfachung der Herstellung von Tintendruckköpfen bezüglich
des Teils Piezoaktoren.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung und ein Herstellungsverfahren
für plattenförmige Piezoaktoren für Tintendruckköpfe der eingangs genannten Art zu
schaffen, mit der/dem eine Montage ohne besonderen Justieraufwand, eine sichere Elektroden-
und Piezoaktorenbefestigung ohne Berührung mit Tinte und eine einfache Kontaktierung
ermöglicht wird. Auf Hochtemperaturprozesse und leitfähige Kleber soll dabei verzichtet
werden. Die Wahl des Werkstoffes für die Membranplatte soll unabhängig von den Piezoaktoren
sein.
Erfindungsgemäß wir diese Aufgabe gemäß den Patentansprüchen gelöst.
[0008] Auf Grund der vorgeschlagenen Lösung ergeben sich eine Reihe von Vorteilen.
Da beide Elektroden von derselben Seite zugänglich sind, ist eine Kontaktierung mit
Anschlußleitungen auf die einfachste Weise und in nur einer Fügerichtung möglich.
Neben Bonden und Löten besteht sogar die Möglichkeit der einfachen Druckkontaktierung.
Die Gestaltung der Piezoaktorenplatte läßt die Verwendung entsprechend konfektionierter
Bandkabel für die Steuerung mit Anschlußmodul zu.
Je nachdem, ob eine größere Anzahl von Piezoaktoren oder nur einzelne aufzubringen
sind, ist durch die gemeinsame Verbindung über den aktiven Bereich eine einfache Montage
ohne komplizierte Justage möglich. Der zusätzliche Platzbedarf ist dabei unerheblich,
zumal eine fertige Strukturierung und Konfektionierung der Piezoaktoren vor dem Aufbringen
auf die Membran gleichfalls möglich ist. Da die Elektroden unmittelbar auf die Piezokeramik
aufgebracht sind, wird eine Verbindung mit guter Haftwirkung erreicht und auf leitfähigen
Kleber kann verzichtet werden. Dafür besteht die Möglichkeit, den Kleber so zu wählen,
daß eine sichere Haftverbindung zwischen Piezoaktor- und Membranplatte erzielt wird.
Da die Piezoaktoren von den Tintenkammern durch die Membranplatte getrennt sind, brauchen
sowohl die Elektroden als auch die Klebeverbindung nicht korrosionsbeständig gegen
die Tinte zu sein. Es wird vorzugsweise auf eine Silberlegierung orientiert. Eine
komplizierte Elektrodenführung aus dem Modulinneren enfällt.
[0009] Die erfindungsgemäße Lösung gestattet auch den Einsatz bereits mit Elektroden beschichteter
und polarisierter Piezoplatten. Es brauchen dann nur noch eine Stirnseite nachträglich
metallisiert und die Strukturierung vorgenommen zu werden, wobei dafür auch weitgehend
technologische Freiheiten bestehen.
[0010] Die Erfindung wird nachstehend am Ausführungsbeispiel näher erläutert.
[0011] Es zeigen:
- Fig. 1
- Eine perspektivische Ansicht eines Piezoaktors,
- Fig. 2
- eine perspektivische Ansicht einer Piezoaktorenplatte mit kammartiger Struktur,
- Fig. 3
- eine perspektivische Ansicht einer Piezoaktorenplatte mit riegelförmiger Struktur,
- Fig. 4
- eine perspektivische Ansicht eines Tintendruckmoduls mit aufgesetzten Piezoaktoren
und dem zugehörigen Anschlußmodul in Explosivdarstellung,
- Fig. 5
- eine schematische Darstellung der Entwicklung einer Piezoaktorenplatte.
[0012] Gemäß Fig. 1 hat jeder beidseitig mit Elektroden 13, 14 belegte Piezoaktor 1 einen
aktiven Bereich 11 und einen inaktiven Bereich 12, wobei eine Elektrode 14 über eine
Stirnfläche 15 des Piezoaktors 1 bis in den inaktiven Bereich 12 der Gegenseite erstreckt
ist.
[0013] Wie Fig. 2 und 3 zeigen, haben mehrere Piezoaktoren 8 x 1 beziehungsweise 2 x 8 x
1 einen gemeinsamen inaktiven Bereich 12, in den von der Gegenseite her eine gemeinsame
Elektrode 14 erstreckt ist.
Die Piezoaktoren 1 können kammartig gemäß Fig. 2 oder riegelartig - wie bei einer
Schokoladentafel - gemäß Fig. 3 angeordnet sein. Auf jeden Fall sind sie alle identisch
aufgebaut.
Die Elektroden 13.1, 13.2 bis 13.8 und 14 beziehungsweise 13.01, 13.02 bis 13.16 und
14 sind unmittelbar mit Anschlußleitungen 21 bis 28 und 20 beziehungsweise 210 bis
226 und 200 eines Bandkabels 2 für die Ansteuerung kontaktiert.
Wie Fig. 4 entnehmbar ist, kann das Bandkabel 2 mit einem Anschlußmodul 3 versehen
sein, das eine Ausnehmung 31 über dem Trennbereich zwischen aktiven und inaktiven
Bereich besitzt. Das Anschlußmodul 3 wird über Justierbohrungen 32 auf die Piezoaktorenplatte
1 und die Membranplatte 4 aufgesetzt. Die Piezoaktorenplatte 1 sitzt so auf der Membranplatte
4 auf, daß die Piezoaktoren 1 in Bereichen über nicht näher dargestellten Tintendruckkammern
liegen. Bei Anregung eines Piezoaktors 1 werden Tintentröpfchen aus den Düsen 51 einer
Düsenplatte 5 herausgespritzt. Die Tintendruckkammern, Tintenkanäle und Düsen sind
in diesem Fall in nicht sichtbarer Weise in die Düsenplatte 5 eingeformt. Bei der
hier gezeigten Variante ist eine zweite Piezoaktorenplatte 1 mit gleichfalls 8 Piezoaktoren
1 auf der Unterseite entsprechend versetzt über eine Membranplatte 6 an die Düsenplatte
5 angekoppelt. Die Anzahl der Düsen 51 ist 16 gemäß 2 x 8 Piezoaktoren.
[0014] Für die Herstellung der erfindungsgemäßen Anordnung sind meherere Verfahren mit Abwandlungen
möglich. Der prinzipielle Verfahrensweg ist in Fig. 5 schematisch dargestellt. Eine
Platte 01 aus piezoelektrischem Material, wie vorzugsweise Blei-Zirkonat-Titanat,
wird mittels eines geeigneten Verfahrens mindestens an ihren Breitseiten und einer
Stirnseite 15 metallisiert, wobei die Metallisierung auf einer Breitseite parallel
zur metallisierten Stirnseite 15 durchgehend unterbrochen ist. Hilfsweise wird dabei
eine entsprechende Maskenabdeckung verwendet.
Anschließend wird die nun metallisierte Platte 1 durch Anlegen einer Polarisationsspannung
in üblicher Weise polarisiert.
Die polarisierte Platte 1 wird mit ihrer durchgehend metallisierten Breitseite mittels
eines geeigneten Klebers, wie ein dünnflüssiger Epoxydharzkleber oder ein UV-aushärtbarer
Kleber, in einer Schichtdicke von 1 bis 5 µm auf einer Membranplatte 6 befestigt.
Die Platte 1 wird dann mittels geeigneter Verfahren so strukturiert, daß ein gewünschtes
Muster von Einzelpiezoaktoren n x 1, siehe auch Fig. 2 und 3, vorliegt.
Anschließend wird die strukturierte Platte 1 mit ihren Elektroden 13, 13.01 bis 13.n,
14 in geeigneter Weise, wie Bonden, Löten oder Andrücken über ein Anschlußmodul 3,
mit zugeordneten Anschlußleitungen 20 bis 2n eines Bandkabels 2 kontaktiert.
[0015] Eine Abwandlung des vorstehend beschriebenen Verfahrens ist in der Weise möglich,
daß die Platte 1 nach der Metallisierung zunächst strukturiert, dann polarisiert auf
die Membranplatte 6 geklebt und abschließend kontaktiert wird.
Eine weitere Variante besteht darin, daß eine bereits an den Breitseiten metallisierte
Piezoplatte 1 - vorkonfektioniertes Bauelement - zunächst polarisiert wird.
Anschließend erfolgt die Strukturierung entsprechend dem gewünschten Muster.
Im weiteren wird die Stirnseite metallisiert, die zur Trennlinie zwischen aktiven
und passiven Bereich parallel liegt, so daß dadurch die Elektrode 14 in den inaktiven
Bereich der Gegenseite erstreckt wird.
Schließlich wird die Platte 1 wie vorher mit der durchgehend metallisierten Breitseite
auf die Membranplatte geklebt und anschließend werden die Elektroden 13, 13.01 bis
13n, 14 mit den zugeordneten Anschlußleitungen des Bandkabels 2 kontaktiert.
Die Metallisierung kann mittels Galvanisierung, Sputtern, Aufdampfen oder Siebdruck
erfolgen. Als Material wird vorzugsweise eine Silberlegierung verwendet. Aluminiumlegierungen
sind aber keineswegs ausgeschlossen. Die Strukturierung kann mittels Sägen, Ätzen,
Laserätzen oder Sandstrahlen vorgenommen werden.
Verwendete Bezugszeichen
[0016]
- 01
- Platte aus piezoelektrischem Material
- 1
- Piezoaktor, Piezoaktorenplatte
- 11
- aktiver Bereich des Piezoaktors 1
- 12
- inaktiver Bereich des Piezoaktors 1
- 13
- Elektrode nur über dem aktiven Bereich 11
- 13.01 bis 13.n
- Elektroden über den aktiven Bereichen der Einzelpiezoaktoren bzw. Teilpiezoaktoren
- 14
- Elektrode vom aktiven Bereich 11 bis in den inaktiven Bereich 12, gemeinsame Elektrode
- 15
- beschichtete Stirnseite des Piezoaktors 1
- 2
- Bandkabel
- 20 bis 21
- Anschlußleitungen des Bandkabels 2
- 200 bis 2n
- Anschlußleitungen des Bandkabels 2
- 3
- Anschlußmodul
- 31
- Ausnehmung im Anschlußmodul 3
- 32
- Justierbohrung
- 4
- Deckplatte, Membranplatte
- 5
- Düsenplatte
- 51
- Düsen
- 6
- Deckplatte, Membranplatte
- n
- Anzahl der Einzelpiezoaktoren
1. Anordnung für plattenförmige Piezoaktoren für Tintendruckköpfe, die aus Tintendruckmodulen
in Stapelbauweise zusammengesetzt sind, wobei die Piezoaktoren beidseitig mit Elektroden
belegt und auf eine Membranplatte über Tintendruckkammern aufgebracht sind, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Piezoaktor (1) einen aktiven Bereich (11) und einen inaktiven Bereich (12)
hat und eine Elektrode (14) über eine Stirnfläche (15) des Piezoaktors (1) bis in
den inaktiven Bereich (12) der Gegenseite erstreckt ist.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Piezoaktoren (n x 1) einen gemeinsamen inaktiven Bereich (12) haben,
in den von der Gegenseite her eine gemeinsame Elektrode (14) erstreckt ist.
3. Anordnung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (13,14) der identisch aufgebauten Piezoaktoren (n x 1) unmittelbar
mit Anschlußleitungen (20,21,22 bis 2n) eines Bandkabels (2) für die Ansteuerung kontaktiert
sind.
4. Anordnung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (13,14) der Piezoaktoren (n x 1) mittelbar über ein Anschlußmodul
(3) mit Anschlußleitungen (20,21,22 bis 2n) eines entsprechend konfektionierten Bandkabels
(2) für die Ansteuerung kontaktiert sind.
5. Verfahren zur Herstellung plattenförmiger Piezoaktoren für Tintendruckköpfe, die aus
Tintendruckmodulen in Stapelbauweise zusammengesetzt sind, wobei die Piezoaktoren
beidseitig mit Elektroden belegt sind,
gekennzeichnet durch folgende Schritte:
• Eine Platte (01) aus piezoelektrischem Material wird mittels eines geeigneten Verfahrens
mindestens an ihren Breitseiten und einer Stirnseite (15) metallisiert, wobei die
Metallisierung auf einer Breitseite parallel zur metallisierten Stirnseite durchgehend
unterbrochen ist; hilfsweise wird zu diesem Zweck eine entsprechende Maskenabdeckung
vorgenommen,
• die metallisierte Platte (1) wird durch Anlegen einer Polarisationsspannung polarisiert,
• die polarisierte Platte (1) wird mit ihrer durchgehend metallisierten Breitseite
mittels eines geeigneten Klebers auf einer Membranplatte (6) befestigt,
• die Platte (1) wird mittels geeigneter Verfahren so strukturiert, daß ein gewünschtes
Muster von Einzelpiezoaktoren (n x 1) vorliegt,
• die strukturierte Platte (1) wird mit ihren Elektroden (13, 13.01 bis 13.n; 14)
in geeigneter Weise mit zugeordneten Anschlußleitungen (20 bis 2n) eines Bandkabels
(2) kontaktiert.
6. Verfahren zur Herstellung plattenförmiger Piezoaktoren für Tintendruckköpfe, die aus
Tintendruckmodulen in Stapelbauweise zusammengesetzt sind, wobei die Piezoaktoren
beidseitig mit Elektroden belegt sind,
gekennzeichnet durch folgende Schritte:
• Eine Platte (01) aus piezoelektrischem Material wird mittels eines geeigneten Verfahren
mindestens an ihren Breitseiten und einer Stirnseite (15) metallisiert, wobei die
Metallisierung auf einer Breitseite parallel zu metallisierten Stirnseite (15) durchgehend
unterbrochen ist; hilfsweise wird zu diesem Zweck eine entsprechende Maskenabdeckung
vorgenommen,
• die Platte (1) wird mittels geeigneter Verfahren so strukturiert, daß ein gewünschtes
Muster von Einzelpiezoaktoren (n x 1) vorliegt,
• die strukturierte Platte (1) wird durch Anlegen einer Polarisationsspannung polarisiert,
• die polarisierte strukturierte Platte (1) wird mit ihrer durchgehend metallisierten
Breitseite mittels eines geeigneten Klebers auf einer Membranplatte (6) befestigt,
• die strukturierte Platte (1) wird mit ihren Elektroden (13, 13.01 bis 13.n; 14)
in geeigneter Weise mit zugeordneten Anschlußleitungen (20 bis 2n) eines Bandkabels
(2) kontaktiert.
7. Verfahren zur Herstellung plattenförmiger Piezoaktoren für Tintendruckköpfe, die aus
Tintendruckmodulen in Stapelbauweise zusammengesetzt sind, wobei die Piezoaktoren
beidseitig mit Elektroden belegt sind,
gekennzeichnet durch folgende Schritte:
• Eine an ihren beiden Breitseiten mit Elektroden (13, 14) versehene Platte (1) aus
piezoelektrischem Material wird mittels einer Polarisationsspannung polarisiert,
• die Platte wird mittels geeigneter Verfahren so strukturiert, daß diese in einen
aktiven Bereich (11) und in einen inaktiven Bereich (12) aufgeteilt wird und daß im
aktiven Bereich ein gewünschtes Muster von Einzelpiezoaktoren (n x 1) vorliegt,
• die zur Trennlinie zwischen aktiven und inaktiven Bereich parallel und benachbart
liegende Stirnseite wird mittels eines geeigneten Verfahrens metallisiert, so daß
auf diese Weise die eine Elektrode (14) in den inaktiven Bereich der Gegenseite erstreckt
wird,
• die Platte (1) wird mit ihrer durchgehend metallisierten Breitseite mittels eines
geeigneten Klebers auf einer Membranplatte (6) befestigt,
• die Platte (1) wird mit ihren Elektroden (13, 13.01 bis 13.n, 14) in geeigneter
Weise mit zugeordneten Anschlußleitungen (20 bis 2n) eines Bandkabels (2) kontaktiert.
8. Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß als piezoelektrisches Material Blei-Zirkonat-Titanat verwendet wird.
9. Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallisierung mittels Galvanisieren erfolgt.
10. Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallisierung mittels Sputtern erfolgt.
11. Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallisierung mittels Aufdampfen erfolgt.
12. Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallisierung mittels Siebdruck einer Metallpaste erfolgt.
13. Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zur Metallisierung eine Silberlegierung verwendet wird.
14. Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Strukturierung mittels Sägen erfolgt.
15. Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Strukturierung mittels Ätzen erfolgt.
16. Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Strukturierung mittels Laserätzen erfolgt.
17. Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Strukturierung mittels Sandstrahlen erfolgt.
18. Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß als Kleber ein dünnflüssiger Epoxydharzkleber verwendet wird, der in einer Dicke
von 1 bis 5 µm aufgetragen wird.
19. Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß als Kleber ein mittels UV-Bestrahlung aushärtbarer Kleber verwendet wird.
20. Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschlußleitungen (20 bis 2n) mittels Bonden mit den zugeorneten Elektroden
(13,14) der Platte (1) kontaktiert sind.
21. Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschlußleitungen (20 bis 2n) des Bandkabels (2) mechanisch gegen die zugeordneten
Elektroden (13,14) der Platte (1) mittels eines Anschlußmoduls (3) gepreßt werden.