(19)
(11) EP 0 695 813 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
12.02.1997  Patentblatt  1997/07

(43) Veröffentlichungstag A2:
07.02.1996  Patentblatt  1996/06

(21) Anmeldenummer: 95109082.8

(22) Anmeldetag:  13.06.1995
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)6C23C 8/36
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT CH DE FR GB IT LI SE

(30) Priorität: 06.08.1994 DE 4427902

(71) Anmelder: ALD Vacuum Technologies GmbH
D-63526 Erlensee (DE)

(72) Erfinder:
  • Schnatbaum, Frank, Dr.
    D-38104 Braunschweig (DE)
  • Melber, Albrecht, Dr.
    D-64287 Darmstadt (DE)

(74) Vertreter: Zapfe, Hans, Dipl.-Ing. 
Postfach 20 01 51
D-63136 Heusenstamm
D-63136 Heusenstamm (DE)

   


(54) Verfahren zum Aufkohlen von Bauteilen aus kohlungsfähigen Werkstoffen mittels einer impulsförmig betriebenen Plasma-entladung


(57) Bei einem Verfahren zum Aufkohlen von Bauteilen aus kohlungsfähigen Werkstoffen, insbesondere aus Stählen, mittels einer impulsförmig betriebenen Plasmaentladung in einer kohlenstoffhaltigen Atmosphäre bei Drücken zwischen 0,1 und 30 mbar und bei Impulsspannungen zwischen 200 und 2000 Volt, vorzugsweise zwischen 300 und 1000 Volt, wird der Impulsspannung eine ständig anstehende Grundspannung überlagert, die unterhalb der Durchschlagsspannung liegt. Die Grundspannung ist vorzugsweise eine Gleichspannung, die zwischen 10 und 150 Volt, vorzugsweise zwischen 20 und 100 Volt, beträgt.







Recherchenbericht