(57) Das Verfahren und die Einrichtung zur Bildsignalauskopplung bei positionsgebenden
Hochvakuum-Detektoreinrichtungen für elektromagnetische Strahlungsquanten oder Teilchen,
die im Falle elektromagnetischer Strahlung über eine Photo-Elektronen-Konverterschicht
(4) und im Falle von Teilchenstrahlung direkt über einen Elektronen-Vervielfacher
(3) als Elektronenlawine (8) auf eine ortsauflösende Anodenstruktur (2) auftreffen,
zeichnen sich erfindungsgemäß dadurch aus, daß die Elektronenlawine (8) zunächst innerhalb
des Vakuums (7) anodenseitig durch eine hochohmige leitende Halbleiter-Dünnschicht
(1) kurzzeitig gesammelt und durch den Glasboden (Gegensubstrat 6) der Detektoreinrichtung
von der Außenseite aus als Bildladung mittels einer niederohmigen, für eine Ortsbestimmung
geeignet strukturierte Anodenschicht (2) kapazitiv ausgelesen wird.
Diese kapazitive Auskopplung ermöglicht eine hohe Ortsauflösung, wenn die inneren
Widerstände von Ladungssammelschicht (1) einerseits und Auslese-Anodenschicht (2)
andererseits optimal zueinander angepaßt werden. Die erfindungsgemäße Art der Auskopplung
benötigt im Vakuum (7) nur eine einfache hochohmige Monoschicht mit einer einzigen
Spannungskontaktierung (11). Die ortsauflösende Anodenstruktur (2) außerhalb des Vakuums
(7) kann den Anwenderwünschen entsprechend modifiziert und beliebig ausgetauscht werden,
so daß die Ortsauflösung individuell anpaßbar ist.
|
|
