(19)
(11) EP 0 700 485 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.03.1996  Patentblatt  1996/11

(21) Anmeldenummer: 94916136.0

(22) Anmeldetag:  21.05.1994
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F16K 1/ 00( . )
F15C 3/ 04( . )
F16K 31/ 64( . )
H01L 21/ 3065( . )
 F15B 21/ 08( . )
F15C 5/ 00( . )
H01L 21/ 302( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1994/000599
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1994/028318 (08.12.1994 Gazette  1994/27)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE FR GB IT LI NL

(30) Priorität: 27.05.1993 DE 19934317676

(71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
D-80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • LISEC, Thomas
    D-10319 Berlin (DE)
  • QUENZER, Hans-Joachim
    D-12207 Berlin (DE)
  • WAGNER, Bernd
    D-14199 Berlin (DE)

   


(54) MIKROVENTIL