(19)

(11)

EP 0 703 994 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 03.04.1996  Patentblatt  1996/14 (21) Anmeldenummer: 94917627.0 (22) Anmeldetag:  13.05.1994

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 8/ 20( . ) C23C 8/ 30( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1994/001542 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1994/029491 (22.12.1994 Gazette  1994/28)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT DE SE (30) Priorität: 03.06.1993 DE 19934318400 (71) Anmelder: LOI Thermprocess GmbH D-45024 Essen (DE)	(72) Erfinder: KÜHN, Friedhelm D-45472 Mülheim (DE) (74) Vertreter: Harlacher, Mechthild, Dipl.-Ing.  Abt. TATP, Ruhrgas AG, Huttropstrasse 60 45138 Essen 45138 Essen (DE)