(19)

(11)

EP 0 705 437 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 10.04.1996  Patentblatt  1996/15 (21) Anmeldenummer: 94918372.0 (22) Anmeldetag:  26.05.1994

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01R 19/ 00( . ) H03F 1/ 30( . ) G01R 35/ 02( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1994/001685 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1995/000855 (05.01.1995 Gazette  1995/02)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB (30) Priorität: 23.06.1993 DE 19934320818 (71) Anmelder: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT D-50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: ROLFF, N. D-50169 Horrem (DE) (74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys., et al  Aggerstrasse 24 D-50859 Köln D-50859 Köln (DE)