(19)
(11) EP 0 711 387 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.05.1996  Patentblatt  1996/20

(21) Anmeldenummer: 94918783.0

(22) Anmeldetag:  26.05.1994
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04C 25/ 02( . )
F04C 28/ 28( . )
F04C 27/ 02( . )
F04C 29/ 02( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1994/001678
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1995/004223 (09.02.1995 Gazette  1995/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB IT LI

(30) Priorität: 28.07.1993 DE 19934325281

(71) Anmelder: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
D-50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • ABELEN, Thomas
    D-51143 Köln (DE)
  • ARNDT, Lutz
    D-53884 Troisdorf (DE)
  • MÜLLER, Peter
    D-51107 Köln (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)

   


(54) VAKUUMPUMPE MIT EINER GASBALLASTEINRICHTUNG