(19)
(11) EP 0 714 455 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.06.1996  Patentblatt  1996/23

(21) Anmeldenummer: 94923584.0

(22) Anmeldetag:  18.08.1994
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B01J 19/ 08( . )
C23C 16/ 27( . )
C23C 16/ 455( . )
B01J 19/ 12( . )
C23C 16/ 452( . )
C23C 16/ 44( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/AT1994/000116
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1995/006143 (02.03.1995 Gazette  1995/10)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT CH DE FR GB IT LI NL SE

(30) Priorität: 25.08.1993 AT 19930001707
01.09.1993 DE 19930013168U

(71) Anmelder: Physikalisches Büro Steinmüller GmbH
A-6071 Aldrans (AT)

(72) Erfinder:
  • BERTEL, Erminald
    D-85748 Garching (DE)

(74) Vertreter: Torggler, Paul, Dr., et al 
Wilhelm-Greil-Strasse 16
6020 Innsbruck
6020 Innsbruck (AT)

   


(54) EINRICHTUNG ZUR AUFBRINGUNG DIAMANTARTIGER KOHLENSTOFFSCHICHTEN AUF EIN SUBSTRAT