(19)

(11)

EP 0 724 689 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.08.1996  Patentblatt  1996/32 (21) Anmeldenummer: 94924860.0 (22) Anmeldetag:  10.08.1994

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  F04B 37/ 08( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1994/002648 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1995/011381 (27.04.1995 Gazette  1995/18)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE GB (30) Priorität: 22.10.1993 DE 19934336035 (71) Anmelder: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT D-50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: TIMM, Uwe D-60323 Frankfurt (DE) KLEIN, Hans-Hermann D-61169 Friedberg (DE) HÄFNER, Hans-Ulrich D-50996 Köln (DE) MUNDINGER, Hans-Jürgen D-50321 Brühl (DE) (74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys.  Aggerstrasse 24 50859 Köln 50859 Köln (DE)