(19)
(11) EP 0 729 593 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
04.09.1996  Patentblatt  1996/36

(21) Anmeldenummer: 95900641.0

(22) Anmeldetag:  12.11.1994
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C01G 33/ 00( . )
G02B 6/ 13( . )
 C23C 14/ 08( . )
G02B 6/ 12( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1994/001361
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1995/014250 (26.05.1995 Gazette  1995/22)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE DK ES FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 18.11.1993 DE 19934339401

(71) Anmelder: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • BAUER, Stefanie
    D-94315 Straubing (DE)
  • FLEUSTER, Martin
    D-52072 Aachen (DE)
  • ZANDER, Willi
    D-52457 Aldenhoven-Neu Pattern (DE)
  • SCHUBERT, Jürgen
    D-50189 Elsdorf-Berrendorf (DE)
  • BUCHAL, Christoph
    D-52428 Jülich-Barmen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SCHICHTSTRUKTUR UND SEINE VERWENDUNG