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EP 0 734 040 B1 |
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EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
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Hinweis auf die Patenterteilung: |
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19.12.2001 Patentblatt 2001/51 |
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Anmeldetag: 07.03.1996 |
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Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 9/385 |
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Einrichtung zum Verbinden von Vakuumpumpständen mit Elektronenröhren
Apparatus for connecting vacuum pump frames to electron tubes
Appareil pour connecter des bâtis de pompe à vide aux tubes à électrons
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Benannte Vertragsstaaten: |
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AT CH DE FR GB IT LI NL |
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Priorität: |
24.03.1995 DE 19510727
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Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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25.09.1996 Patentblatt 1996/39 |
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Patentinhaber: Pfeiffer Vacuum GmbH |
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35614 Asslar (DE) |
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Erfinder: |
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- Blecker, Armin
35615 Asslar (DE)
- Tschesche, Hartmut
35619 Braunfels (DE)
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Entgegenhaltungen: :
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| Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
[0001] Die Erfindung betrifft einen Vakuumpumpstand zum Verbinden mit einer Elektronenröhre
nach dem Oberbegriff des 1. Patentanspruches. Die Evakuierung von Elektronenröhren
erfolgt über Pumpstände, welche Bestandteil eines nahezu vollautomatisierten Behandlungssystems
sind. Die einzige Tätigkeit, die nach dem heutigen Stand der Technik noch manuell
ausgeführt werden muß, ist das Herstellen der Verbindung zwischen Pumpstand und Elektronenröhre.
Dazu sind zwei Arbeitsgänge notwendig. In einem muß der Ansaugstutzen der Vakuumpumpe
mit dem Pumpstengel der Elektronenröhre verbunden werden und in einem anderen Arbeitsgang
wird der elektrische Kontakt zur Beheizung der Kathode der Elektronenröhre hergestellt.
Mit den bisher existierenden Einrichtungen ist es selbst bei Einsatz der neuesten
Robotertechnologie nicht möglich, die Ausrichtung von Ansaugstutzen und Pumpstengel
sowie der elektrischen Anschlüsse mit der erforderlichen Genauigkeit zu erreichen.
Die vorgenannten Tätigkeiten können bisher nur manuell mit der notwendigen Präzision
ausgeführt werden (siehe US-A-2 799 982).
[0002] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung vorzustellen, mit der
automatisch die Verbindung von Pumpstand und Elektronenröhre mit der erforderlichen
Genauigkeit hergestellt werden kann. Insbesondere handelt es sich dabei um die Verbindung
des Ansaugstutzens des Pumpstandes mit dem Pumpstengel der Elektronenröhre und um
die Herstellung der elektrischen Anschlüsse für die Beheizung der Kathode.
[0003] Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale der beiden Patentansprüche gelöst.
[0004] Durch die Erfindung wird es möglich, die Evakuierung von Elektronenröhren vollautomatisch
durchzuführen. Insbesondere wird sichergestellt, daß die Verbindung der Elektronenröhre
mit dem Pumpstand mit der erforderlichen Genauigkeit und Zuverlässigkeit im Rahmen
eines vollautomatisierten Verfahrens hergestellt werden kann. Zusätzlich wird zum
Ausheizen der Elektronenröhre deren Kathode automatisch mit einer elektrischen Verbindung
versehen.
[0005] An Hand der Abbildungen 1a), b) bis 3a), b) soll die Erfindung näher erläutert werden.
[0006] Die Abbildungen 1a) bis 3a) zeigen jeweils Längsschnitte und die Abbildungen 1b)
bis 3b) die dazugehörigen Querschnitte entlang den Linien A, A' aus den Abbildungen
1a) bis 3a) der Anordnung zu drei verschiedenen Zeitpunkten des Arbeitsvorganges.
[0007] Ein Vakuumpumpstand, von welchem nur der hochvakuumseitige Ansaugflansch 1 dargestellt
ist, dient zur Evakuierung einer Elektronenröhre, von welcher nur der Röhrenhals 10
dargestellt ist. Mit dem Ansaugflansch 1, welcher auch als Führungstisch dient, sind
seitliche Führungsrollen 4 verbunden. Der Pumpstand und somit die auf dem Anschlußflansch
1 montierten Einrichtungen sind in Richtung der Elektronenröhre verschiebbar. Bei
einer solchen Bewegung gleiten die Führungsrollen 4 in den Führungsschienen 6. Da
das Profil der Führungsschienen sich in Richtung der Bewegung verändert, werden durch
diese Bewegung die mit den Führungsschienen verbundenen drehbaren Hebel 5 in der Abbildungsebene
gegen den äußeren Rahmen 2 über die Druckfedern 9 leicht gekippt. Damit wird der Abstand
der mit den Hebeln über Halterungen 7 verbundenen Zentrierrollen 8 verändert. Die
beiden Zentrierrollen 8 umfassen den Röhrenhals 10, wodurch der mit diesem verbundene
Pumpstengel 11 beim Hochfahren des Pumpstandes sicher in den Dichtring 13 des Ansaugstutzens
geführt wird.
[0008] Die einzelnen Schritte dieses Vorganges sind durch die Abbildungen 1a). b) bis 3a),
b) dargestellt.
[0009] In Abbildung 1a) befindet sich der Pumpstand in der unteren Position. Der Abstand
der Zentrierrollen 8 ist groß (Abbildung 1b)), so daß der Röhrenhals 10 dazwischen
positioniert werden kann. Durch Anheben des Pumpstandes (Abbildung 2a) werden durch
die Führungsrollen 4 die Hebel 5 derart geschwenkt, daß sich der Abstand der Führungsrollen
8 soweit verringert, bis sie den Röhrenhals 10 fest umfassen und zentrieren (Abbildung
2b)). Jetzt können der Pumpstengel 11 und der Dichtring 13 exakt zusammengeführt werden.
Beim weiteren Anheben des Pumpstandes (Abbildung 3a)) werden die Hebel 5 durch die
Führungsrollen 4 wieder etwas auseinandergedrückt. Dadurch vergrößert sich der Abstand
der Zentrierrollen 8 wieder (Abbildung 3b)), so daß ein Verspannen des Pumpstengels
11 vermieden wird.
[0010] Zur Beheizung der Kathode der Elektronenröhre müssen die entsprechenden Kontakte
12 am anderen Ende des Röhrenhalses 10 (Röhrensockel) mit einer elektrischen Verbindung
über die Federkontakte 15 versehen werden. Zu diesem Zweck ist eine Auslöseeinheit
17 vorgesehen. Die Federkontakte 15 sind über eine Halterung 16 mit dem Ansaugflansch
1 verbunden und bewegen sich mit diesem in Richtung Röhrenhals 10 bei Anheben des
Pumpstandes. Bei Erreichen der Endposition (Abbildung 3a)) wird die Halterung 16 mit
den Federkontakten 15 durch Berührung mit der Rolle 18 der Auslöseeinheit 17 in Richtung
der elektrischen Kontakte 12 des Röhrenhalses 10 geschoben. Somit wird durch einen
an sich bekannten Vorgang die elektrische Verbindung zwischen den Federkontakten 15
und den elektrischen Kontakten 12 der Kathode der Elektronenröhre hergestellt.
1. Vakuumpumstand zum Verbinden mit einer Elektronenröhre, deren Röhrhals (10) mit einem
rohrförmigen Pumpstengel (11) und mit elektrischen Kontakten (12) versehen ist, wobei
der Pumpstand mit einem Ansaugflansch (1) und einem Dichtring (13) versehen ist und
zum Verbinden mit der Elektronenröhre in Richtung der Elektronenröhre verschiebbar
ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Ansaugflansch (1) als Führungstisch ausgebildet ist, an welchem Führungsrollen
(4) angebracht sind, und diese Führungsrollen beim Verschieben des Pumpstandes in
Führungsschienen (6) gleiten, wobei die Führungsschienen (6) jeweils mit Hebeln (5)
verbunden sind und an diesen Hebeln wiederum über Halterungen (7) Zentrierrollen (8)
zum Umfassen des Röhrenhalses (10) angebracht sind und die Führungsschienen (6) ein
Profil aufweisen, das dazn geeignet ist, daß bei Bewegung des Pumpstandes in Richtung
der Elektronenröhre am Anfang die Zentrierrollen (8) sich in einem gewissen Abstand
vom Röhrenhals (10) befinden und dann im weiteren Verlauf der Bewegung den Röhrenhals
fest umschließen und zentrieren bis der Pumpstengel (11) den Dichtring (13) erreicht
hat, und die Zentrierrollen bei weiterer Bewegung des Pumpstandes in die gleiche Richtung
bis zur Endposition wieder einen gewissen Abstand zum Röhrenhals einnehmen.
2. Vakuumpumpstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Ansaugflansch (1) eine Halterung (16) mit Federkontakten (15) vorhanden ist
und an einem der Hebel (5) eine Auslöseeinheit (17) mit einer Rolle (18) angebracht
ist, derart, daß bei Erreichen der Endposition des Pumpstandes die Rolle (18) der
Auslöseeinheit (17) die Halterung (16) und somit die Federkontakte (15) in Richtung
der elektrischen Kontakte (12) verschiebt, so daß eine elektrische Verbindung der
Federkontakte (15) mit den Kontakten (12) der Elektronenröhre zustandegebracht werden
kann.
1. A vacuum pump frame for connection to an electron tube, of which the neck (10) is
provided with a tubular pump stalk (11) and with electrical contacts (12), the pump
frame being provided with a suction flange (1) and a sealing ring (13) and, for connection
with the electron tube, is displaceable in the direction of the electron tube, characterised in that the suction flange (1) is constructed as a guiding platen on which are mounted guide
rollers (4), and these guide rollers during displacement of the pump frame slide in
guide rails (6), the guide rails (6) being respectively connected to levers (5) and,
for embracing the neck (10), centring rollers (8) also being mounted on said levers,
and the guide rails (6) have a profile which is adapted so that, during movement of
the pump frame in the direction of the electron tube, at the beginning the centring
rollers (8) are located at a particular spacing from the neck (10) and, in the course
of movement, securely surround and centre the neck until the pump stalk (11) has reached
the sealing ring (13), and during further movement of the pump frame in the same direction
up to the end position the centring rollers again adopt a particular spacing relative
to the neck.
2. A vacuum pump frame according to claim 1, characterised in that holding means (16) with spring contacts (15) is provided on the suction flange (1)
and a releasing unit (17) with a roller (18) is mounted on one of the levers (5) such
that, upon the reaching of the end position of the pump frame, the roller (18) of
the releasing unit (17) displaces the holding means (16) together with the spring
contacts (15) in the direction of the electrical contacts (12), so that an electrical
connection of the spring contacts (15) with the contacts (12) of the electron tube
can be achieved.
1. Bâti de pompe à vide à connecter à un tube électronique dont le col (10) de tube comporte
une queusot tubulaire de pompe (11) et des contacts électriques (12), dans lequel
le bâti de pompe comporte une bride (1) d'admission et une bague d'étanchéité (13)
et peut coulisser en direction du tube électronique pour connexion avec le tube électronique,
caractérisé en ce que la bride d'admission (1) consiste en une table de guidage sur laquelle sont montés
des rouleaux de guidage (4), et ces rouleaux de guidage glissent dans des rails de
guidage (6) lors d'un coulissement du bâti de pompe, les rails de guidage (6) sont
connectés chacun à des leviers (5) et des rouleaux de centrage (8) sont eux-mêmes
montés sur ces leviers au moyen de supports (7) pour entourer le col (10) de tube,
et les rails de guidage (6) comportent un profil qui est adapté à ce que les rouleaux
de centrage (8) se trouvent à une certaine distance du col (10) de tube au début d'un
déplacement du bâti de pompe en direction du tube électronique, puis enserrent et
centrent le col de tube lors de la poursuite de déplacement jusqu'à ce que le queusot
(11) de pompe ait atteint la bague d'étanchéité (13), et les rouleaux de centrage
s'écartent de nouveau à une certaine distance du col de tube lors d'une poursuite
du déplacement du bâti de pompe dans la même direction jusqu'à la position finale.
2. Bâti de pompe à vide selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un support (16) à contacts élastiques (15) est agencé sur la bride d'admission (1),
et une unité de détachement (17) à rouleau (18) est montée sur l'un des leviers (5)
d'une manière telle que le rouleau (18) de l'unité de détachement (17) fait coulisser
le support (16) et de cette manière les contacts élastiques (15) en direction des
contacts élastiques (12) lorsque la position finale du bâti de pompe est atteinte,
de sorte qu'une connexion électrique peut être établie entre les contacts élastiques
(15) et les contacts (12) du tube électronique.