(19)
(11) EP 0 735 321 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
26.03.1997  Patentblatt  1997/13

(43) Veröffentlichungstag A2:
02.10.1996  Patentblatt  1996/40

(21) Anmeldenummer: 96102122.7

(22) Anmeldetag:  14.02.1996
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)6: F23G 7/06, F23G 5/14, F23J 15/04
(84) Benannte Vertragsstaaten:
BE CH DE ES FR GB IE IT LI NL

(30) Priorität: 30.03.1995 DE 19511644

(71) Anmelder: DAS-DÜNNSCHICHT ANLAGEN SYSTEME GmbH DRESDEN
D-01217 Dresden (DE)

(72) Erfinder:
  • Reichardt, Horst, Dr.
    D-01257 Dresden (DE)
  • Ritter, Lothar, Dipl.-Ing.
    D-01109 Dresden (DE)
  • Firkert, Günter, Dipl.-Ing.
    D-01159 Dresden (DE)
  • Labs, Lutz, Dipl.-Phys.
    D-91324 Dresden (DE)
  • Gehmlich, Konrad, Dipl.-Phys.
    D-01099 Dresden (DE)
  • Hofmann, Gerold
    D-01237 Dresden (DE)
  • Hentrich, Michael, Dipl-Ing.
    D-01109 Dresden (DE)
  • Wiesenberg, Wido
    D-91109 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Rau, Manfred, Dr. Dipl.-Ing. et al
Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Königstrasse 2
90402 Nürnberg
90402 Nürnberg (DE)

   


(54) Verfahren und Einrichtung zur Reinigung von schadstoffhaltigen Abgasen durch chemische Umsetzung


(57) Abgase, die bei CVD- und Plasmaprozessen anfallen, enthalten toxische Schadstoffe und müssen deshalb gereinigt werden. Dazu werden häufig mehrstufig wirkende Verfahren eingesetzt, deren Hauptprozeß die thermisch aktivierte chemische Umsetzung der Schadstoffe in einer Brenngasflamme (6) ist, dem sich weitere Prozeßschritte wie Sorption, Hydrolyse, Kühlen und Waschen anschließen, um die sekundären Stoffe, die in der Flamme entstehen, aus dem Abgas zu beseitigen. Eine effiziente Verringerung des Schadstoffgehaltes von Abgasen, insbesondere von fluorhaltigen, kann dadurch erzielt werden, daß durch spezielle Ausführung der Brenner (3) oder der Brennkammer (1) der Abgasreinigungseinrichtung und durch getrennte Zufuhr von Brenngasen unterschiedlicher Zusammensetzung die Schadstoffe zunächst in einem reduzierenden Flammenbereich (11) chemisch umgesetzt werden und anschließend die überschüssigen Brenngase und die sekundären, in diesem Bereich entstehenden, Schadstoffe in einem oxidierenden Flammenbereich (12) verbrannt werden.






Recherchenbericht