(19)
(11) EP 0 735 322 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
23.04.1997  Patentblatt  1997/17

(43) Veröffentlichungstag A2:
02.10.1996  Patentblatt  1996/40

(21) Anmeldenummer: 96102123.5

(22) Anmeldetag:  14.02.1996
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)6: F23G 7/06, F23M 9/06, F23J 15/02, F23J 15/04
(84) Benannte Vertragsstaaten:
BE CH DE ES FR GB IE IT LI NL

(30) Priorität: 30.03.1995 DE 19511645

(71) Anmelder: DAS-DÜNNSCHICHT ANLAGEN SYSTEME GmbH DRESDEN
D-01217 Dresden (DE)

(72) Erfinder:
  • Reichardt, Horst, Dr.
    D-01257 Dresden (DE)
  • Ritter, Lothar, Dipl.-Ing.
    D-01109 Dresden (DE)
  • Firkert, Günter, Dipl.-Ing.
    D-01159 Dresden (DE)
  • Labs, Lutz, Dipl.-Phys.
    D-91324 Dresden (DE)
  • Gehmlich, Konrad, Dipl.-Phys.
    D-01099 Dresden (DE)
  • Hofmann, Gerold
    D-01237 Dresden (DE)
  • Hentrich, Michael, Dipl.-Ing.
    D-01109 Dresden (DE)
  • Wiesenberg, Wido
    D-91109 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Rau, Manfred, Dr. Dipl.-Ing. et al
Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Königstrasse 2
90402 Nürnberg
90402 Nürnberg (DE)

   


(54) Verfahren und Einrichtung zur Reinigung von schadstoffhaltigen Abgasen durch chemische Umsetzung in einer Flamme und an heissen Oberflächen


(57) Abgase, vorzugsweise aus CVD- und Plasmaprozessen mit unterschiedlichen, toxischen Schadstoffen, insbesondere auch fluorhaltigen Verbindungen, werden in einem mehrstufig wirkenden Verfahren und dafür ausgeführten Einrichtungen in einer Brennkammer (1) mit Hilfe einer Brenngasflamme (7) behandelt und anschließend in einem flüssigen Sorptionsmittel gereinigt. In der Brennkammer werden bestimmte Schadstoffe zunächst in der Flamme in einer Volumenreaktion thermisch zersetzt oder in Oxidations- oder Redoxreaktionen umgesetzt. Der heiße Gasstrom durchströmt und erhitzt in der Brennkammer dann einen gasdurchlässigen, vorzugsweise aus Siliziumdioxid bestehenden, reaktiven Körper (10,13). Andere Schadstoffe des Abgases und sekundäre, in der Flamme entstehende Schadstoffe, werden durch Oberflächenreaktionen und/oder Volumenreaktionen in diesem gasdurchlässigen Körper in flüchtige, hydrolisierbare Gase umgewandelt. Der aus der Brennkammer austretende, heiße Gasstrom wird in einer anschließenden Sorptionseinrichtung (21) abgekühlt, hydrolisiert und neutralisiert und von den umgewandelten Produkten der Schadstoffe gereinigt.
Da bei dem Verfahren in einer einzigen Brennkammer verschiedene chemische Umwandlungsprozesse zur Wirkung gebracht werden, erzielt man mit dem Verfahren auch für unterschiedlich sich verhaltene Schadstoffe sehr niedrige Schadstoffgehalte in der Abluft.






Recherchenbericht