(19)
(11) EP 0 755 573 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
29.01.1997  Patentblatt  1997/05

(21) Anmeldenummer: 95915782.0

(22) Anmeldetag:  13.04.1995
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/ 58( . )
 H01L 23/ 552( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1995/000511
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1995/028739 (26.10.1995 Gazette  1995/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DK FR GB IT LI SE

(30) Priorität: 15.04.1994 DE 19944413529

(71) Anmelder: TELE FILTER tft GmbH
14513 Teltow (DE)

(72) Erfinder:
  • LAUN, Wilfried
    D-14467 Potsdam (DE)
  • RADVAN, Peter
    D-14478 Potsdam (DE)
  • HÄLSIG, Christian
    D-14532 Kleinmachnow (DE)

(74) Vertreter: Hengelhaupt, Jürgen, Dipl.-Ing., et al 
Patentanwälte Gulde Hengelhaupt Ziebig, Lützowplatz 11-13
10785 Berlin
10785 Berlin (DE)

   


(54) ELEKTRONISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG