(19)

(11)

EP 0 756 698 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 05.02.1997  Patentblatt  1997/06 (21) Anmeldenummer: 95915137.0 (22) Anmeldetag:  10.04.1995

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01J 3/ 50( . ) G01J 3/ 02( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1995/000480 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1995/029391 (02.11.1995 Gazette  1995/47)

(84) Benannte Vertragsstaaten: CH DE LI (30) Priorität: 20.04.1994 DE 19944413594 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: BECK, Rolf D-73728 Esslingen (DE) GERUM, Nikolaus D-91344 Hemhofen (DE) HAAS, Jürgen D-77761 Schiltach (DE)