(19)

(11)

EP 0 760 167 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 05.03.1997  Patentblatt  1997/10 (21) Anmeldenummer: 93901752.0 (22) Anmeldetag:  23.12.1992

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/ 762( . ) H01L 29/ 40( . ) H01L 29/ 06( . ) H01L 29/ 861( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1992/002985 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1993/014522 (22.07.1993 Gazette  1993/18)

(84) Benannte Vertragsstaaten: BE CH DE DK ES FR GB IT LI LU NL SE (30) Priorität: 18.01.1992 DE 19924201276 (71) Anmelder: Daimler-Benz Aktiengesellschaft 70546 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: WONDRAK, Wolfgang D-6000 Frankfurt/Main (DE) HELD, Raban D-8752 Mömbris (DE) STEIN, Erhard D-6082 Mörfelden-Walldorf (DE) NEUBRAND, Horst D-6000 Frankfurt/Main (DE) (74) Vertreter: Fröhling, Werner Otto, Dr., et al  Daimler-Benz AG, Intellectual Property Management, Sedanstr. 10/Gebäude 17 89077 Ulm 89077 Ulm (DE)