(19)

(11)

EP 0 763 215 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 19.03.1997  Patentblatt  1997/12 (21) Anmeldenummer: 96911945.0 (22) Anmeldetag:  26.03.1996

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01Q 60/ 18( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1996/001322 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1996/030797 (03.10.1996 Gazette  1996/44)

(84) Benannte Vertragsstaaten: CH DE FR GB LI (30) Priorität: 30.03.1995 DE 19951011612 26.08.1995 DE 19951031465 (71) Anmelder: CARL ZEISS JENA GmbH 07745 Jena (DE)	(72) Erfinder: WEIHNACHT, Manfred D-01744 Paulsdorf (DE) BARTZKE, Karlheinz D-07747 Jena (DE) MARTIN, Günter D-01307 Dresden (DE) RICHTER, Wolfgang D-99425 Weimar (DE) (74) Vertreter: Geyer, Werner, et al  Patentanwälte Geyer, Fehners & Partner, Perhamerstrasse 31 80687 München 80687 München (DE)