(19)
(11) EP 0 763 260 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
19.03.1997  Patentblatt  1997/12

(21) Anmeldenummer: 95920751.0

(22) Anmeldetag:  27.05.1995
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/ 075( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1995/000725
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1995/033284 (07.12.1995 Gazette  1995/52)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE ES FR GR IT LI MC PT

(30) Priorität: 01.06.1994 DE 19944419273

(71) Anmelder: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • BENEKING, Claus
    D-52074 Aachen (DE)
  • RECH, Bernd
    D-52066 Aachen (DE)

   


(54) DÜNNSCHICHT-SOLARZELLE UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG