(19)

(11)

EP 0 766 834 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 09.04.1997  Patentblatt  1997/15 (21) Anmeldenummer: 95922481.0 (22) Anmeldetag:  26.05.1995

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01T 1/ 169( . ) G01T 1/ 185( . ) H01J 47/ 06( . ) G01T 1/ 18( . ) H01J 47/ 02( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1995/001985 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1995/035510 (28.12.1995 Gazette  1996/03)

(84) Benannte Vertragsstaaten: CH DE FR GB LI (30) Priorität: 20.06.1994 DE 19944423338 (71) Anmelder: BETARAY KUBISIAK GMBH 75335 Dobel (DE)	(72) Erfinder: KUBISIAK, Helmut D-75335 Dobel (DE) (74) Vertreter: Leitner, Waldemar, Dr. techn., et al  porta Patentanwälte, Dipl.-Phys. U. Twelmeier, Dr. techn. W. Leitner , Westliche Karl-Friedrich-Strasse 29-31 75172 Pforzheim 75172 Pforzheim (DE)