(19)

(11)

EP 0 775 370 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 28.05.1997  Patentblatt  1997/22 (21) Anmeldenummer: 95927642.0 (22) Anmeldetag:  07.08.1995

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 27/ 04( . ) H01L 21/ 822( . ) H01L 21/ 02( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1995/001036 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1996/005620 (22.02.1996 Gazette  1996/09)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT CH DE DK ES FR GB IT LI NL SE (30) Priorität: 09.08.1994 DE 19944428195 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: WILLER, Josef D-85521 Riemerling (DE) WENDT, Hermann D-85630 Grasbrunn (DE) SCHÄFER, Herbert D-85635 Höhenkirchen-Siegertsbrunn (DE) (74) Vertreter: Epping, Wilhelm, Dipl.-Ing., et al  Epping Hermann & Fischer Ridlerstrasse 55 80339 München 80339 München (DE)