(19)
(11) EP 0 780 881 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
10.02.1999  Patentblatt  1999/06

(43) Veröffentlichungstag A2:
25.06.1997  Patentblatt  1997/26

(21) Anmeldenummer: 96117127.9

(22) Anmeldetag:  25.10.1996
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)6H01J 65/04, H01J 61/30, H01J 61/35, H01J 61/12, H01J 61/04
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT

(30) Priorität: 20.12.1995 DE 19547519

(71) Anmelder: Heraeus Noblelight GmbH
63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • Smolka, Ernst, Dr.
    67346 Speyer (DE)
  • Dietz, Klaus-Jürgen, Dr.
    65195 Wiesbaden (DE)
  • Schilling, Franz
    63477 Maintal (DE)
  • Schnabl, Anke
    63546 Hammersbach (DE)
  • Herter, Beate
    70563 Stuttgart (DE)

(74) Vertreter: Kühn, Hans-Christian 
c/o Heraeus Holding GmbH Abt. Schutzrechte Heraeusstrasse 12-14
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) Elektrodenlose Entladungslampe


(57) Eine elektrodenlose Niederdruck-Entladungslampe (1), insbesondere Deuteriumlampe, weist einen zylindersymmetrischen Blendenkörper (2) auf, der an seinen Stirnseiten (8,9) jeweils einen Hohlraum (4,5) enthält; die beiden Hohlräume (4,5) sind durch eine Bohrung (7) miteinander verbunden, welche als Blendenöffnung dient, um das mittels Einkoppelung eines hochfrequenten elektromagnetischen Feldes im Inneren erzeugte Plasma zwecks Intensitätserhöhung der abgegebenen Strahlung einzuschnüren. Beide Stirnseiten (8,9) des zylindersymmetrischen Blendenkörpers (2) sind mit einer hermetischen Abdichtung versehen, von denen wenigstens eine als Austrittsfenster (11) ausgebildet ist; in einer bevorzugten Ausführungsform erfolgt die Einkoppelung des elektromagnetischen Feldes auf kapazitivem Wege durch auf den Stirnflächen befindliche Elektroden (13,14), die wenigstens eine Öffnung (15) für den Austritt der Strahlung aufweisen, sofern sie benachbart zu einem Austrittsfenster (11) angeordnet sind.







Recherchenbericht