(19)
(11) EP 0 782 767 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.07.1997  Patentblatt  1997/28

(21) Anmeldenummer: 95934077.0

(22) Anmeldetag:  19.09.1995
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/ 20( . )
 H01L 21/ 762( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1995/003697
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1996/009648 (28.03.1996 Gazette  1996/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB LI

(30) Priorität: 19.09.1994 DE 19944433330

(71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • PLETTNER, Andreas
    D-82340 Feldafing (DE)
  • HABERGER, Karl
    D-82152 Planegg (DE)

(74) Vertreter: Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät 
Maximilianstrasse 58
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) HALBLEITERSTRUKTUREN MIT VORTEILHAFTEN HOCHFREQUENZEIGENSCHAFTEN SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DERARTIGER HALBLEITERSTRUKTUREN