(19)
(11) EP 0 784 754 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.07.1997  Patentblatt  1997/30

(21) Anmeldenummer: 95934081.0

(22) Anmeldetag:  20.09.1995
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F15B 15/ 14( . )
F15C 5/ 00( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1995/003707
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1996/011342 (18.04.1996 Gazette  1996/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB LI

(30) Priorität: 08.10.1994 DE 19944436008

(71) Anmelder: Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
76133 Karlsruhe (DE)

(72) Erfinder:
  • FEIT, Klaus
    D-76676 Graben-Neudorf (DE)
  • HECKELE, Mathias
    D-76351 Linkenheim (DE)
  • RUTHER, Patrick
    D-76139 Karlsruhe (DE)
  • WEINDEL, Klaus
    D-76694 Forst (DE)

(74) Vertreter: Rückert, Friedrich, Dr. 
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Stabsabteilung Patente und Lizenzen Weberstrasse 5
76133 Karlsruhe
76133 Karlsruhe (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHER AKTOR