Technisches Gebiet
[0001] Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur optischen Beurteilung
einer Bohrung innerhalb eines Ziehsteins nach dem Oberbegriff der Ansprüche 1 bzw.
9.
[0002] Ein solcher Ziehstein dient zum Ziehen von Feindrähten, insbesondere von Wolframdrähten;
die Beurteilung erfolgt dabei nach quantitativen (z.B. Durchmesser, Ovalität) und/oder
qualitativen Gesichtspunkten (z.B. Ziehsteinschäden durch Riefen, Rauheit, Sprünge).
[0003] Wesentlich für die Herstellung von sogenannten Feindrähten, also Drähten mit einem
Durchmesser von weniger als 300 Mikrometern, wie Wolframdrähten, ist die Beurteilung
des Ziehhols, durch das der Draht gezogen wird. Meist wird ein Satz von mehreren (oft
acht), hintereinander geschalteten Ziehsteinen verwendet, wobei die Ziehsteine untereinander
festgelegte relative Abstufungen im Durchmesser einhalten müssen. Bei den Dimensionen
im Zehntel-Millimeter-Bereich ist eine genaue, hochpräzise Bestimmung des Ziehhols
wesentlich, da geringere Toleranzen existieren als bei einer Drahtherstellung im Millimeterbereich.
Stand der Technik
[0004] Bekannt ist ein Verfahren zur Beurteilung von Ziehsteinen, das einen mehrstufigen
Prozeß voraussetzt. Das Ziehhol wird dabei vom Bedienungspersonal mit Hilfe eines
Lichtmikroskopes optisch begutachtet und aufgrund von Erfahrungswerten auf etwaige
Ziehsteinschäden, wie Riefen oder Ausbrüche an den Ziehholkanten eingestuft. Problematisch
hierbei ist, daß bei kleinen Durchmessern insbesondere von weniger als 100 Mikrometern
die Intensität des Durchlichtes auf Werte abnimmt, die eine genaue Beurteilung sehr
erschweren. Des weiteren erfordert die Beurteilung in diesen Dimensionen eine möglichst
hochpräzise Auflösung, die bei dem bekannten Verfahren nicht gegeben ist.
[0005] Der Durchmesser des Ziehhols konnte bisher nur in einem indirekten Verfahren erfaßt
werden. Dabei wurde Kupferdraht durch das Ziehhol kaltgezogen; aufgrund der vorbestimmten
Parameter des Kupferdrahtes (Gewicht, Länge etc.) konnte nach dem Kaltziehverfahren
indirekt auf den Zustand des Ziehhols rückgeschlossen werden, insbesondere auf dessen
Durchmesser. Für eine umfassende Beurteilung des Ziehsteines mußten also bisher die
Parameter (Ziehsteinschäden, Durchmesser, Ovalität des Ziehsteins etc.) in unterschiedlichen
und aufwendigen Zusatzverfahren ermittelt werden. Aufgrund des enormen Arbeits-, Zeit-
und damit auch Kostenaufwandes konnte eine Ziehholbeurteilung im Stand der Technik
nur in 10 bis 20% der an sich zu beurteilenden Ziehsteine erfolgen. Des weiteren ist
es beim Stand der Technik eine Voraussetzung, daß das Personal am Lichtmikroskop geschult
und erfahren ist.
Darstellung der Erfindung
[0006] Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren zur optischen Beurteilung
von Ziehsteinen und Ziehsteinsätzen zur Verfügung zu stellen, das alle erforderlichen
Parameter für die Beurteilung des Ziehhols in einem Meßverfahren erfaßt und diese
automatisch, präzise und den Einfluß weiterer Fehlerquellen minimierend auswertet,
und weiterhin eine Vorrichtung zu schaffen, die eine einfache, schnelle Qualitätssicherung
des Ziehsteins erlaubt ohne spezielle Vorkenntnisse des Bedienungspersonals.
[0007] Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren und eine Vorrichtung mit den
Merkmalen des Anspruchs 1 bzw. 9 gelöst. Besonders vorteilhafte Ausgestaltungen finden
sich in den abhängigen Ansprüchen.
[0008] Im Rahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens wird ein Laserstrahl auf eine zu beurteilende
Bohrung im Ziehstein ausgesendet, der zum Ziehen von Feindrähten, insbesondere von
Wolframdrähten dient. Durch Beugung des Laserstrahls im Ziehstein wird ein Beugungsbild
erzeugt, mindestens ein Teil des Beugungsbildes der gebeugten Laserstrahlung wird
erfaßt und es werden daraus Signale erzeugt, die das erfaßte Beugungsbild definieren.
Schließlich wird das Beugungsbild durch Transformation der gewonnenen Signale ausgewertet.
Damit wird die Bohrung innerhalb des Ziehsteins nach quantitativen (z.B. Durchmesser,
Ovalität) und/oder qualitativen Gesichtspunkten (z.B. Ziehsteinschäden durch Riefen,
Rauheit, Sprünge) beurteilt.
[0009] Durch die erfindungsgemäße Erfassung und Verarbeitung der Parameter für die Beurteilung
des Ziehsteins aus Beugungssignalen bietet diese Lösung den Vorteil, daß bisherige
Störeinflüsse, wie Fehleingaben und Fehlinterpretationen auf ein Minimum beschränkt
bleiben. Während es - wie bereits beschrieben - beim Stand der Technik eine Voraussetzung
ist, daß das Personal am Lichtmikroskop geschult und erfahren ist, ist dies bei dem
erfindungsgemäßen Verfahren wegen der einfachen Handhabung der Vorrichtung nicht mehr
erforderlich.
[0010] Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung des Verfahrens der Erfindung besteht darin,
daß die mit Diamant bestückte Innenoberfläche des Ziehhols vorzugsweise mit Graphit
oder schwarzer Glastinte geschwärzt ist. Damit werden Strahlungsanteile, die durch
Transmission der diamantbestückten Teile des Ziehsteins zustande kommen und das Beugungsbild
überlagern, unterdrückt. Im Ergebnis erhält man durch diese Ziehsteinpräparation ein
weniger gestörtes Beugungsbild, was wiederum die Qualität der Beurteilung erhöht.
Beschreibung der Zeichnungen
[0011] Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele
in Verbindung mit den Figuren näher erläutert. Dabei zeigen:
- Fig. 1
- eine Übersicht über die erfindungsgemäße Vorrichtung,
- Fig. 2
- eine übersichtsartige Darstellung des erfindungsgemäßen Verfahrens,
- Fig. 3
- eine diagrammartige Darstellung eines Intensitätsverlaufs eines Beugungssignales einer
Winkelzeile, aufgetragen über den Ort bei einem Ziehhol mit einem Durchmesser von
80 Mikrometern,
- Fig. 4
- ein Beugungsbild bei einem guten Ziehstein mittlerer Laufzeit,
- Fig. 5
- ein Beugungsbild bei einem Ziehstein mit höherer Rauheit und Riß und
- Fig. 6
- eine Schnittansicht eines Ziehsteins mit einer Ziehsteinbohrung.
[0012] Um Klarheit über die prinzipielle Form und den Aufbau eines Ziehsteines 10 zu erhalten,
sei nun auf Fig. 6 verwiesen. Der Pfeil deutet die Drahtziehrichtung an, d.h. in der
Figur von rechts nach links. Die Bohrung des Ziehsteins 10 umfaßt mehrere Abschnitte.
Der Abschnitt mit dem kleinsten Durchmesser definiert das Ziehhol 12, das im wesentlichen
zylindrisch ausgebildet ist. Das Ziehhol 12 definiert den späteren Durchmesser des
Drahtes und dessen Oberflächenqualität. In Drahtziehrichtung hinter diesem befindet
sich eine Hinterschneidung 13, vor ihm der Verformungsteil 11.
[0013] Fig. 2 zeigt schematisch das Verfahren zur Beurteilung eines Ziehsteins 10 im Überblick.
Ein Laserstrahl vornehmlich eines Halbleiter-Lasers 14 wird in einem Ziehsteinhol
12, mit einem Durchmesser von z.B. weniger als 300 Mikrometer, gebeugt, indem der
Laserstrahl möglichst auf den Mittelpunkt des Ziehsteins 10 gerichtet wird.
[0014] Das Beugungsverhalten des Laserstrahls am Ziehsteinhol 12 wird im weite ren Verfahren
als Grundlage für die Beurteilung des Ziehsteinhols 12 verwendet. Das je nach Zustand
des Ziehsteins 10 spezifische Beugungsbild wird mit einer Kamera 16 erfaßt und in
elektrische Signale umgewandelt, die im weiteren Verfahren ausgewertet werden.
[0015] Die Signale werden einem Prozessor 18 zugeführt, der sie so verarbeitet, daß sie
zur Bestimmung des Durchmessers des Ziehsteinhols 12 und zur Beurteilung der Ovalität
und der Güte herangezogen werden können.
[0016] Im Vergleich mit der Gütebestimmung am Lichtmikroskop und der indirekten Bestimmung
des Durchmessers mittels der Wiegetechnik im Stand der Technik ergeben sich nach dem
erfindungsgemäßen Verfahren die Vorteile einer sehr schnellen Bestimmung bei hoher
Genauigkeit, die etwa bei einem Zehntel Mikrometer liegt, und der Möglichkeit einer
Prüfung aller zur Beurteilung anfallender Ziehsteine 10, gegenüber bisheriger 10%
- 20%iger Prüfung, sowie der für die Praxis wichtige Vorteil einer einfachen Handhabung.
[0017] Bei einer alternativen Ausgestaltung der Erfindung wird nicht das gesamte Beugungsbild
erfaßt, sondern jeweils nur ein Teil des Beugungsbildes, welcher Teil jeweils einem
Radialschnitt, bezogen auf den Mittelpunkt des Beugungsbildes, entspricht.
[0018] Eine CCD(Charge Coupled Device)-Zeilenkamera 16 nimmt das Beugungsmuster zeilenweise
auf. Fig. 1 zeigt den Meßplatzaufbau, insbesondere die Anordnung des Lasers 14, des
Ziehsteins 10 und der Kamera 16. Bei dieser Ausgestaltung ist der Ziehstein 10 in
einer drehbaren Aufnahme gelagert, die von einem Schrittmotor 22 in kleinen vorbestimmten
Winkelschritten angetrieben wird. In dieser Ausführungsform wird vorzugsweise ein
in seiner Leistung regelbarer Diodenlaser 14 mit einer Wellenlänge von 830 Nanometer
eingesetzt, der durch eine geeignete Parallelisierungsoptik eine maximale Leuchtdichte
von 1,2W/cm
2 erreicht.
[0019] Die CCD-Zeilenkamera 16 wird hinter dem Ziehstein 10 so angeordnet, daß sie den Hauptstrahl
(Intensitätsmaximum 0. Ordnung) der am Ziehstein 10 gebeugten Strahlen gerade nicht
mehr erfassen kann.
[0020] Idealerweise dient die Blende 24 dazu, Streulichteinflüsse insbesondere des Lasers
abzuschirmen. Das Objektiv 26 (etwa in Form einer Sammellinse) ist zwischen Ziehhol
10 und CCD-Kamera 16 im Abstand der Brennweite des Objektivs vor der CCD-Kamera positioniert.
Dadurch wird ein Fraunhofer-Beugungsbild des Ziehhols auf der CCD-Kamera erzeugt.
Im Ergebnis wird damit eine flexiblere Erfassung etwa unterschiedlicher Ziehsteindurchmesser
ohne zeitaufwendiges Versetzen der CCD-Kamera ermöglicht.
[0021] Mögliche Brennweiten sind z.B. 50 mm und 100 mm für Ziehhole 12 mit einem Durchmesser
von weniger als 100 Mikrometern. Die Zeilenkamera 16 erlaubt bei einer Arraylänge
von 2048 Pixeln (Picture Elements) mit einer Pixelgröße von 13 µm x 13 µm eine vollständige
und genaue Erfassung des Beugungsbildes.
[0022] Wie in Fig. 2 gezeigt, werden die durch die Kamera 16 erfaßten Beugungssignale einem
Prozessor 18 eines Rechners 28 zugeführt, gespeichert und weiterverarbeitet. Diese
Signale werden einer inversen Fouriertransformation unterzogen und dienen zur Bestimmung
des Durchmessers und der Ovalität des Ziehhols 12. Zum Zusammenhang von Beugung und
Fouriertransformation wird auf "Hecht, Zajac: Optics, Addison-Wesley, Reading/MA,
1974, Seiten 411 - 414, 462 - 471" hingewiesen.
[0023] Die Qualitätssicherung in der Wolframdrahtherstellung spielt eine wichtige Rolle,
um die Standzeit der teueren Ziehsteinsätze optimal auszunützen. Sie kann dadurch
verbessert werden, indem ein optisches Meßverfahren zur Klassifizierung von Ziehsteinen
10 zur Verfügung gestellt wird, das schnell und genau den Durchmesser und die Ovalität
des Ziehhols 12 liefert.
[0024] Wurde bisher aufgrund des hohen Aufwandes nur ein Ziehhol (vorzugsweise dasjenige
mit dem kleinsten Durchmesser) innerhalb eines Ziehsteinsatzes von beispielsweise
acht Ziehsteinen beurteilt und für gut befunden, so traten dennoch oft deshalb Schäden
auf, weil ein anderes Ziehhol nicht den Anforderungen (Durchmesser, Oberflächenbeschaffenheit)
entsprach.
[0025] Eine vorteilhafte alternative Ausgestaltung der Erfindung, insbesondere der Auswertevorrichtung
28, besteht deshalb darin, daß mittels einer zusätzlichen Verarbeitung von Signalen
innerhalb des Verfahrens eine Detektion von Ziehsteinschäden (z.B. Risse im Ziehstein
10 oder Ausbrüche an den Ziehholkanten) innerhalb einer Feinzugkaskade (sequentielle
Anordnung von Ziehsteinen mit abnehmenden Durchmesser des Ziehhols 12) möglich ist.
So werden die Beugungssignale pro Zeile gespeichert, um davon ausgehend ein zweidimensionales
Beugungsbild zu erzeugen, indem der Ziehstein um seine Bohrungsachse gedreht wird.
[0026] Mit an sich bekannten Methoden der Bildverarbeitung und der Mustererkennung können
dann zusätzlich in einem Schlußfolgerungssystem neben der Bestimmung des Durchmessers
und der Ovalität (quantitative Gesichtspunkte) ebenfalls automatisch qualitative Merkmale
(Güte etc.) "diagnostiziert" werden. Alternativ dazu können die erfaßten und bearbeiteten
Signale über die Schnittstelleneinheit 30 auch direkt an den Benutzer weitergegeben
werden, um diese einer nicht vom Verfahren und der Vorrichtung unterstützten (qualitativen)
Beurteilung durch das Personal zu unterziehen. Diese halbautomatische Beurteilung
birgt den Vorteil, daß bei Bedarf stets das Erfahrungswissen des Personals mit einfließen
kann.
[0027] Wie Fig. 1 zeigt, umfaßt die erfindungsgemäße Vorrichtung einen Rechner 28 mit einer
Schnittstelleneinheit 30. Das Steuerwerk des Rechners 28 steuert den Schrittmotor
22 in Abhängigkeit von der Anzahl der aufgenommen Winkelzeilen; die Anzahl der Winkelzeilen
beträgt in diesem Ausführungsbeispiel 22. Weiterhin steuert das Steuerwerk des Rechners
28 die Belichtungseinstellung der Kamera 16.
[0028] Für eine möglichst hohe Signaldynamik wird die Belichtung automatisch pro Zeilenabtastung
in an sich bekannter Weise eingestellt. Eine Auswertevorrichtung, die im Rechner 28
insbesondere durch mindestens eine Bildverarbeitungskarte und ein entsprechenden Softwaremodul
gebildet ist, empfängt Daten vom Laser 14 (Laserfrequenz), vom Schrittmotor 22 (Drehstellung
des Ziehsteins 10) und die Beugungssignale der Kamera 16 als Zeileninformation, aus
denen die Ortsfrequenzen ermittelt und der Durchmesser iterativ pro Winkelzeile für
den gesamten Umfang des Ziehhols 12 bestimmt wird.
[0029] Fig. 3 zeigt einen Intensitätsverlauf des Beugungssignales. Dabei ist eine durch
den Mittelpunkt des Ziehhols 12 gehende Zeile des Ziehsteins 10 von der Kamera 16
erfaßt. Der Verlauf der Kurve, aufgetragen über den Ort (hier durch Pixel-Nummern
symbolisiert), gibt Aufschluß über die Beschaffenheit des Ziehhols 12 auf dieser Zeile.
[0030] Bei etwa 100 bis 200 Winkelzeilen, je nach gewünschter Feinheit, werden die 100 bis
200 Intensitätsverläufe durch den Rechner 28 wieder zu einem Bild integriert und ermöglichen
eine Gesamtaussage über das Ziehhol 12.
[0031] Fig. 4 und 5 zeigen jeweils ein Beugungsbild in Grauwertdarstellung, das mit einer
Flächenkamera erfaßt wurde. Der Intensitätsverlauf des Beugungssignales läßt sich
an der unterschiedlichen Schattierung der Ringe erkennen. Alternativ zur oben erwähnten
Zeilenkamera erfaßt die Flächenkamera beide Dimensionen des Beugungsbildes in einem
Meßdurchgang, hat jedoch den Nachteil, daß sie weniger genau erfassen kann als die
Zeilenkamera.
[0032] Deshalb ist es eine besonders vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung, den Ziehstein
10 über beispielsweise 100 Winkelschritte zu drehen und pro Winkelschritt jeweils
eine hochaufgelöste Winkelzeile zu erfassen.
[0033] In der Praxis der Drahtherstellung wird, wie in der Beschreibungseinleitung bereits
erwähnt, meistens ein Satz aus mehreren sequentiell angeordneten Ziehsteinen 10, eine
Feinzugkaskade, verwendet, wobei eine bestimmte Durchmesserreduktion von Ziehstein
10 zu Ziehstein 10 festgelegt ist. Je gleichmäßiger die Querschnittsveränderung von
Ziehstein zu Ziehstein ist, um so länger sind die Standzeiten für den kompletten Ziehsteinsatz
und um so besser ist die erzeugte Drahtqualität. Bei einem zu hohen Verformungsgrad
des Drahts steigt z.B. die Versprödungsgefahr des Drahtes. Aus diesem Grund sind die
Abstufungen der Ziehsteine 10 untereinander besonders wichtig. Dafür ist es notwendig,
alle Ziehsteine 10 eines Satzes zu beurteilen. Eine stichprobenartige Beurteilung
reicht nicht aus, denn liegt beispielsweise ein Ziehhol 12 an der oberen Grenze des
Toleranzbereiches, so muß sein Nachfolger ebenfalls an der oberen Toleranzgrenze liegen,
damit der prozentuale Verformungsgrad von Ziehhol 12 zu Ziehhol 12 möglichst konstant
bleibt.
[0034] Für die Zusammenstellung eines optimalen Ziehsteinsatzes ist der Vergleich der einzelnen
Messungen untereinander erforderlich. Dies wird mit einer vorteilhaften Alternativlösung
erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß eine Vorrichtung zur Verfügung gestellt wird (nicht
gezeigt), mit der ein Satz von Ziehsteinen 10 unter Berücksichtigung der Einzelbeurteilungen
der jeweils ihn aufbauenden Ziehsteine 10 und der erforderlichen relativen Durchmesserreduktion
beurteilt werden kann. Diese beispielsweise karussellartige Vorrichtung bietet also
die Möglichkeit, den gesamten Satz von z.B. acht Ziehsteinen 10 in der Vorrichtung
anzuordnen, die dort nacheinander mittels Durchtaktung beurteilt werden. Nach Ausführung
des Verfahrens auf den gesamten Satz von Ziehsteinen kann man ein beurteilendes Ergebnis
über diesen erhalten. Dadurch wird erreicht, daß die Qualität der gesamten Drahtherstellung
verbessert und gesichert wird.
[0035] Eine weitere Variante zur Erhöhung des Durchsatzes kann hierbei eine Vorrichtung
mit mehreren gleichzeitig aktiven Meßplätzen (Sende- und Erfassungseinrichtungen)
darstellen.
[0036] Positiv bei der vorgestellten Lösung der Aufgabe ist es, daß das Verfahren nicht
auf ein bestimmtes Material des Ziehsteins 10 oder dessen Innenoberfläche festgelegt
ist. So können beispielsweise auch Ziehsteine 10 aus Hartmetall beurteilt werden.
[0037] Weiterhin ergibt sich der für die Praxis der Drahtherstellung wesentliche Vorteil,
daß mit lediglich einem Verfahren, dem erfindungsgemäßen Erfassen der Beugungssignale,
eine Riß- und Sprungerkennung des Ziehsteins 10 sichergestellt ist, was eine qualitative
Grobklassifikation des Ziehsteins 10 aufgrund des spezifischen Beugungsbildes erlaubt.
1. Verfahren zur optischen Beurteilung einer Bohrung (12) innerhalb eines Ziehsteins
(10), der zum Ziehen von Feindrähten, insbesondere von Wolframdrähten dient, nach
quantitativen (z.B. Durchmesser, Ovalität) und/oder qualitativen Gesichtspunkten (z.B.
Ziehsteinschäden durch Riefen, Rauheit, Sprünge), gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte
a) - d):
a) Aussenden eines Laserstrahls auf die Bohrung im Ziehstein (10),
b) Erzeugen eines Beugungsbildes durch Beugung des Laserstrahls im Ziehstein (10),
c) Erfassen mindestens eines Teiles des Beugungsbildes der gebeugten Laserstrahlung
und Erzeugen von Signalen, die das erfaßte Beugungsbild definieren,
d) Auswerten des Beugungsbildes durch Transformation der Signale des Beugungsbildes.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Auswerten des Beugungsbildes
durch Vergleich der erzeugten Signale des erfaßten Beugungsbildes mit Signalen eines
Referenzbeugungsbildes erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verfahrensschritte
des Erfassens und Auswertens auf mehrere Ziehsteine (10) angewendet werden, wobei
relative Durchmesserabstufungen und Toleranzen der einzelnen Ziehsteine (10) erfaßt
und untereinander in Beziehung gesetzt werden.
4. Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß der Laserstrahl beim Aussenden in axialer Richtung im wesentlichen auf den Mittelpunkt
der zylindrischen Bohrung (12) gerichtet ist.
5. Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß das Erfassen mindestens eines Teils des Beugungsbildes zeilenweise ausgeführt
und der Ziehstein (10) in vorbestimmten Winkelschritten über 360° um seine Bohrungsachse
rotiert wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Auswerten des Beugungsbildes
durch Vergleich der zeilenweise erfaßten Signale iterativ für jede erfaßte Winkelzeile
erfolgt, bis alle Signale des Beugungsbildes ausgewertet sind.
7. Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß bei dem Verfahren generierte Daten mittels eines Software-Programms verarbeitet
werden.
8. Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß mindestens ein Teil der Daten einem Filtervorgang und anschließend einer inversen
Fourier-Transformation unterzogen wird.
9. Vorrichtung zur optischen Beurteilung einer Bohrung (12) innerhalb eines Ziehsteins
(10), der zum Ziehen von Feindrähten, insbesondere von Wolframdrähten dient, nach
quantitativen (z.B. Durchmesser, Ovalität) und/oder qualitativen Gesichtspunkten (z.B.
Ziehsteinschäden durch Riefen, Rauheit, Sprünge), gekennzeichnet durch:
a) einen Laser (14), dessen Strahl auf die Bohrung des Ziehsteins (10) gerichtet ist,
c) eine Auswertevorrichtung (28) zum Auswerten des Beugungsbildes durch Transformation
der Signale des Beugungsbildes.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswertevorrichtung (28)
in der Weise ausgestaltet ist, daß das Auswerten des Beugungsbildes durch Vergleich
der erzeugten Signale des erfaßten Beugungsbildes mit Signalen eines Referenzbeugungsbildes
erfolgt.
11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswertevorrichtung
(18) in der Weise ausgestaltet ist, daß die erzeugten Signale automatisch oder halbautomatisch
beurteilt werden.
12. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet,
daß der Laser (14) ein Diodenlaser mit einer Wellenlänge von 830 nm ist.
13. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet,
daß die Erfassungseinrichtung (14) eine CCD-Kamera ist.
14. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet,
daß der Ziehstein (10) in einer Aufnahme (20) drehbar gelagert ist.
15. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 9 bis 14, dadurch gekennzeichnet,
daß die Auswertevorrichtung (28) ein Steuerwerk aufweist, dem ein Steuerprogramm zugeordnet
ist, das das Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 8 definiert.
16. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lagerung des Ziehsteins (10) in der Aufnahme (20) steuerbar ist.
17. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 9 bis 16, dadurch gekennzeichnet,
daß sie eine Aufnahmevorrichtung für mehrere Ziehsteine (10) umfaßt.
18. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 9 bis 17, dadurch gekennzeichnet,
daß der Ziehstein (10) mindestens im Bereich der zylindrischen Bohrung (12) mit einem
lichtundurchlässigen Material beschichtet ist.