(19)
(11) EP 0 789 674 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.08.1997  Patentblatt  1997/34

(21) Anmeldenummer: 96926993.0

(22) Anmeldetag:  28.08.1996
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C01B 33/ 149( . )
C03C 17/ 28( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/CH1996/000296
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1997/009280 (13.03.1997 Gazette  1997/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE ES FR GB IT

(30) Priorität: 01.09.1995 CH 19950002492

(71) Anmelder: Gurit-Essex AG
8807 Freienbach (CH)

(72) Erfinder:
  • GUIDOTTI, Bruno
    CH-8807 Freienbach (CH)
  • ROHRER, Paul
    CH-8704 Herrliberg (CH)
  • CASERI, Walter
    CH-8049 Zürich (CH)
  • HERZOG, Erwin
    CH-6300 Zug (CH)

(74) Vertreter: Rottmann, Maximilian R. 
c/o Rottmann, Zimmermann + Partner AG Glattalstrasse 37
8052 Zürich
8052 Zürich (CH)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SUBSTRATEN MIT MODIFIZIERTEN, MIT EINEM ALKOHOL BESETZTEN SILICIUMDIOXID-HALTIGEN OBERFLÄCHEN