(19)

(11)

EP 0 789 820 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 20.08.1997  Patentblatt  1997/34 (21) Anmeldenummer: 95930522.0 (22) Anmeldetag:  25.08.1995

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  F16J 15/ 40( . ) F16J 15/ 447( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1995/003364 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1996/013678 (09.05.1996 Gazette  1996/21)

(84) Benannte Vertragsstaaten: CH DE FR GB IT LI (30) Priorität: 31.10.1994 DE 19944438878 (71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: MÜLLER, Heinz, K. D-71336 Waiblingen (DE) (74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys., et al  Aggerstrasse 24 50859 Köln 50859 Köln (DE)