[0001] Die Erfindung betrifft eine auf einem Substrat aus einem hochschmelzenden Metall
aus der Gruppe Molybdän, Wolfram, Tantal, Niob und deren Legierungen, bzw. Verbundwerkstoffen
davon, aufgebrachte Oxidationsschutzschicht, die im wesentlichen aus Silizium sowie
1 - 14 Gew.% Bor besteht.
[0002] Hochschmelzende Metalle besitzen die Eigenschaften, bis zu höchsten Temperaturen
ihre Festigkeit beizubehalten. Problematisch ist jedoch, daß diese Metalle und Legierungen
eine nur geringe Widerstandsfähigkeit gegenüber Oxidation aufweisen, wenn sie bei
hohen Temperaturen von über 400°C Luft oder anderen oxidierenden Medien ausgesetzt
sind.
[0003] Um diese starke Oxidationsanfälligkeit zu verbesseren ist es bekannt, die Oberfläche
der hochschmelzenden Metalle mit entsprechenden Schutzschichten zu versehen. Insbesondere
die Aufbringung von Beschichtungen auf Siliziumbasis, die durch eine Diffüsionsglühbehandlung
mit dem hochschmelzenden Metall ein entsprechendes Silizid bilden, sind für diesen
Zweck vielfach zur Anwendung gekommen. Werden derartig beschichtete hochschmelzende
Metalle bei hohen Temperaturen sauerstoffhaltiger Atmosphäre ausgesetzt, bildet sich
auf der Oberfläche des Silizids eine Oxidschicht, die als Schutzschicht gegen weitere
Oxidation wirkt. Wird auf das hochschmelzende Metall eine reine Siliziumschicht aufgebracht,
ist die Oxidschicht auf der Silizidsclicht SiO
2. Reines SiO
2 bildet sich jedoch relativ langsam und weist einen hohen Schmelzpunkt auf, sodaß
eine derartige Schicht insbesondere bei Einsatztemperaturen des hochschmelzenden Metalles
unter 1200°C schlechte Rißheileigenschaften aufweist und damit einen vielfach unzureichenden
Oxidationsschutz bildet.
[0004] Deshalb hat sich die Verwendung modifizierter Beschichtungen insbesondere auf Zweistoflbasis,
wie SiC, SiB, SiGe, SiMn, SiTi, SiCr, aber auch auf Dreistoffbasis, wie SiCrAl, SiTiAl,
SiCrB, SiCrTi und SiCrFe, in der Praxis durchgesetzt.
[0005] Die Verwendung modifizierter Beschichtungen auf Siliziumbasis hat den Vorteil, daß
sich auf den Silizidschichten im Vergleich zu reinem SiO
2 niedriger schmelzende Oxidgemische bilden, sodaß derartige Überzugsschichten gute
Rißheileigenschaften aufweisen und die Oberfläche des hochschmelzenden Metalles über
einen weiten Temperaturbereich schützen. Die Aufbringung der Oxidationsschutzschichten
kann durch die unterschiedlichsten Beschichtungsverfahren, wie Plasmaspritzen, Elektrophorese,
Schmelzflußelektrolyse, Schmelztauchverfahren, CVD- oder PVD-Verfahren, durch Aufbringen
eines Schlickers der gewünschten Pulvermischung auf die Oberfläche des hochschmelzenden
Metalles (Slurry-Beschichtung) oder durch Auslagem des hochschmelzenden Metalles in
einer entsprechenden Pulvermischung mit Aktivator (Pack cementation) erfolgen. Im
Anschluß daran erfolgt im Falle der NiedertemperaturBeschichtungsverfahren eine Diffüsionsglühbwandlung
bei Temperaturen zwischen 1200°C und 1600°C unter Schutzgas oder im Hochvakuum zur
Ausbildung der Silizidschichten. Bei den Hochtemperatur-Beschichtungsverfahren (Schmelzflußelektrolyse,
Schmelztauchverfahren, CVD-Verfahren, pack cementation und in der Regel auch Plasmaspritzen)
werden ausreichend dichte Schichten abgeschieden, so daß sich die Silizidschichten
während der Oxidation im Einsatz bilden können, ohne daß Sauerstoff in größerem Ausmaß
eindringen kann.
[0006] Nachteilig bei diesen bekannten Oxidationsschutzschichten ist aber doch, daß sie
oftmals nicht sehr gut haften und auch eine gewisse Porosität und Ungleichmäßigkeit
aufweisen.
[0007] Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Oxidationsschutzschicht für
hochschmelzende Metalle zu schaffen, die eine verbesserte Schichthaftung, Gleichmäßigkeit
und Dichtheit und damit einen deutlich verbesserten Oxidationsschutz gegenüber bisher
bekannten Oxidationsschutzschichten aufweist.
[0008] Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, daß die Oxidationsschutzschicht neben
Bor und Silizium 0,1 - 4 Gew.% Kohlenstoff enthält.
[0009] Besonders bewährt hat sich dabei eine Oxidationsschutzschicht, die aus 5 bis 12 Gew.%
Bor, 0,5 bis 3 Gew.% Kohlenstoff, Rest Silizium besteht.
[0010] Die erfindungsgemäße Oxidationsschutzschicht hat sich sowohl für massive Substrate
aus hochschmelzenden Metallen als auch für Zwischenschichten aus diesen Werkstoffen
hervorragend bewährt.
Es war völlig überraschend und in diesem Ausmaß nicht zu erwarten, daß durch derartig
geringfügige Kohlenstoff-Anteile in der Oxidationsschutzschicht Verbesserungen in
der Oxidationsbesändigkeit erreicht werden konnten, die gegenüber reinen Bor-Siliziumschichten
für gewisse Einsatzbedingungen bis zum Faktor 2 gehen können. Der zur Herstellung
der Schutzschicht zugegebene Kohlenstoff dient offensichtlich nicht nur als Legierungselement,
sondern auch als Aktivator, der bei der Hochtemperatur-Beschichtung bei der Wärmebehandlung
oder auch in der ersten Zeit des Einsatzes in oxidierender Atmosphäre diffüsionshemmenden
Sauerstoff in Form von CO oder CO
2 entfernt, was daran zu erkennen war, daß der Kohlenstoff-Gehalt in der wärmebehandelten
bzw. bei der bereits kurzzeitig bei erhöhter Temperatur im Einsatz befindlichen Oxidationsschutzschicht
bis zu einem Faktor 10 geringer ist als die ursprünglich aufgebrachte Menge von Kohlenstoff.
Dieser anfänglich verringerte Kohlenstoff-Anteil stabilisiert sich dann und bleibt
bis zum Versagen der Oxidationsschutzschicht weitgehend konstant
[0011] Die spezielle oxidationsverbessernde Wirkung des Kohlenstoffes war in keiner Weise
vorhersehbar, da für den Fachmann durch den Kohlenstoff in erster Linie eine Karburierung
des Substratmaterials zu erwarten war.
Die in der Praxis interessanten Schichtstärken der erfindungsgemäßen Oxidationsschutzschicht
liegen in einem Bereich zwischen 50 µm und 500 µm. In einer besonders bevorzugten
Ausgestaltung der Oxidationsschutzschicht haben sich Schichtstärken zwischen 100 und
300 µm bewährt.
[0012] Die Herstellung erfindungsgemäßer Oxidationsschutzschichten ist im Prinzip mit allen
bekannten Beschichtungsverfahren möglich.
Das atmosphärische Plasmaspritzen und das Schlickerverfahren haben sich jedoch als
besonders vorteilhafte Beschichtungsverfahren bewährt.
[0013] Im folgenden wird die Erfindung anhand von Herstellungsbeispielen näher erläutert.
BEISPIEL 1:
[0014] Zylindrische Probekörper mit 10 - 25 mm Durchmesser und 50 - 250 mm Länge aus Molybdän
wurden an der Oberfläche sandgestrahlt und alle scharfen Kanten verrundet. Eine Pulvermischung
aus 880 g Siliziumpulver, 100 g Borpulver und 20 g Kohlenstoffpulver wurde im Taumelmischer
30 Minuten gemischt. Dann wurde durch Zugabe von 560 ml eines farblosen Nitrolackes,
gelöst in 140 ml Nitroverdünnung, und vierstündiger Homogenisierung der Mischung im
Taumelmischer ein entsprechender Schlicker hergestellt. Die Probekörper wurden durch
Besprühen mit Schicker beschichtet. Nach einer Lufttrocknung von 24 Stunden wurden
die Probekörper bei 1370°C einer Schutzgasglühung (H
2,1 bar) während 2 Stunden unterworfen, wodurch die Lackanteile des Schlickers vollständig
entfernt wurden. Anschließend wurden die Probekörper von schlechthaftenden Schlickerresten
befreit und optisch auf Schichtfehler, wie Risse oder Abplatzungen, geprüft und ggf.
neuerlich beschichtet. Die derartig beschichteten Probekörper wiesen Schichtdicken
im Bereich zwischen 50 und 100 µm auf. Zur Überprüfung der Oxidationsbeständigkeit
wurden die beschichteten Probekörper bei 1200°C an Luft geglüht, wobei eine durchschnittliche
Standzeit von 3000 Stunden bis zum Ausfall der Oxidationsschutzschicht festgestellt
werden konnte. Zum Vergleich wurden Probekörper auf gleiche Weise mit einem Schlicker
gleicher Zusammensetzung, aber ohne Kohlenstoff-Anteile beschichtet und ebenfalls
bei 1200°C an Luft getestet. Bei den derartig beschichteten Probekörpern konnte eine
durchschnittliche Standzeit von nur etwa 2000 Stunden festgestellt werden.
BEISPIEL 2:
[0015] Plattenförmige Probekörper mit den Abmessungen 300 mm x 200 mm x 6 mm aus Molybdän
wurden oberflächlich sandgestrahlt und alle Kanten und Ecken verrundet. Anschließend
wurden die Probekörper durch atmosphärisches Plasmaspritzen beschichtet. Das verwendete
Spritzpulver wurde dabei folgendermaßen hergestellt: 8,8 kg Siliziumpulver, 1,0 kg
Borpulver und 0,2 kg Kohlenstoffpulver wurden gemischt, anschließend unter Wasserstoff
bei 1350 - 1380°C während 3,5 Stunden gesintert und daraus eine Pulverfraktion mit
einem Komgrößenbereich zwischen 36 und 120 µm ausgesiebt. Das Plasmaspritzen selbst
erfolgte mit üblichen Einstellungen auf eine durchschnittliche Schichtdicke von 250
- 300 µm, die in mehmaligen Spritzgängen erreicht wurde. Bei einem Glühen der Proben
bei 1400°C an Luft wurde eine durchschnittliche Standzeit von 300 Stunden erreicht.
BEISPIEL 3:
[0016] Plattenförmige Proben, wie nach Beispiel 2, jedoch aus Wolfram, wurden mit demselben
Spritzpulver und denselben Bedingungen wie nach Beispiel 2 beschichtet. Bei einem
Glühen der derart beschichteten Proben bei 1400°C an Luft wurde eine durchschnittliche
Standzeit von 200 Stunden erreicht.
1. Auf einem Substrat aus einem hochschmelzenden Metall aus der Gruppe Molybdän, Wolfram,
Tantal, Niob und deren Legierungen, bzw. Verbundwerkstoffen davon, aufgebrachte Oxidationsschutzschicht,
die im wesentlichen aus Silizium sowie 1 - 14 Gew.% Bor besteht,
dadurch gekennzeichnet,
daß sie zusätzlich 0,1 - 4 Gew.% Kohlenstoff enthält.
2. Oxidationsschutzschicht nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus 5 - 12
Gew.% Bor, 0,5 - 3 Gew.% Kohlenstoff, Rest Silizium besteht.
3. Oxidationsschutzschicht nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine
Schichtstärke zwischen 100 und 300 µm aufweist.
4. Oxidationsschutzschicht nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß sie durch atomosphärisches Plasmaspritzen hergestellt ist.
5. Oxidationsschutzschicht nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß sie durch ein Schlickerverfahren hergestellt ist.