(19)

(11)

EP 0 801 595 A1

(12)

(43) Date de publication: 22.10.1997  Bulletin  1997/43 (21) Numéro de dépôt: 96934953.0 (22) Date de dépôt:  22.10.1996

(51) Int. Cl.:  G01N 29/ 24( . ) B06B 1/ 06( . ) A61B 8/ 00( . ) H01L 41/ 09( . ) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR1996/001650 (87) Numéro de publication internationale: WO 1997/017145 (15.05.1997 Gazette  1997/21)

(84) Etats contractants désignés: CH DE DK FR IT LI NL (30) Priorité: 03.11.1995 FR 19950012999 (71) Demandeur: THOMSON-CSF 75008 Paris (FR)	(72) Inventeurs: BUREAU, Jean-Marc F-92400 Courbevoie Cédex (FR) BERNARD, François F-92402 Courbevoie Cédex (FR) CALISTI, Serge F-92402 Courbevoie Cédex (FR)