(19)
(11) EP 0 808 554 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.11.1997  Patentblatt  1997/48

(21) Anmeldenummer: 95940165.0

(22) Anmeldetag:  11.12.1995
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05K 13/ 08( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1995/001772
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1996/022673 (25.07.1996 Gazette  1996/34)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
BE DE

(71) Anmelder: QTec Industrie-Automation GmbH
82041 Oberhaching (DE)

(72) Erfinder:
  • ZABOLITZKY, John, G.
    D-81825 München (DE)

(74) Vertreter: Thiel, Christian, Dr. Dipl.-Chem. 
Schaeferstrasse 18
44623 Herne
44623 Herne (DE)

   


(54) VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR DREIDIMENSIONALEN, BERÜHRUNGSLOSEN VERMESSUNG DER GEOMETRIE VON ANSCHLUSSBEINEN BEI HALBLEITER-BAUELEMENTEN