....CHDE....FRGB....LI..NLSE........................................................................*EPregister to ST.36 EBD process v 1.0 kbaumeister@epo.org (15 Jan 2013)0811181A119971210EP96914126.01996042519971002dedede1995102293619950623DE1997121019975019971210199750G03F 7/ 20 A I H01L 21/ 027 A I enMETHOD AND DEVICE FOR PRODUCING FEATURES ON A PHOTOLITHOGRAPHIC LAYERfrPROCEDE ET DISPOSITIF DE STRUCTURATION D'UNE COUCHE PHOTOLITOGRAPHIQUEdeVERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM STRUKTURIEREN EINER PHOTOLITHOGRAPHISCHEN SCHICHTFRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.Leonrodstrasse 5480636 MünchenDEPAUFLER, JörgAm Belmsdorfer Berg 39D-01877 BischofswerdaDESELTMANN, RolfHohe Strasse 21D-01069 DresdenDEKÜCK, HeinzDresdner Strasse 28D-01465 LangebrückDESchoppe, Fritz, Dipl.-Ing., et alPatentanwalt, Postfach 71 08 6781458 MünchenDECHDEFRGBLINLSEEP199600173719960425deWO199700113019970109199703