(19)
(11)
EP 0 811 250 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
10.12.1997
Patentblatt 1997/50
(21)
Anmeldenummer:
96901222.0
(22)
Anmeldetag:
31.01.1996
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
H01L
29/
06
( . )
H01L
33/
40
( . )
H01L
33/
22
( . )
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1996/000137
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1996/026550
(
29.08.1996
Gazette 1996/39)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB
(30)
Priorität:
23.02.1995
DE 19951006323
(71)
Anmelder:
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)
(72)
Erfinder:
FISCHER, Helmut
D-93059 Regensburg (DE)
LANG, Gisela
D-93057 Regensburg (DE)
SEDLMEIER, Reinhard
D-93073 Neutraubling (DE)
NIRSCHL, Ernst
D-93173 Wenzenbach (DE)
(54)
HALBLEITERVORRICHTUNG MIT AUFGERAUHTER HALBLEITEROBERFLÄCHE