(19)

(11)

EP 0 818 023 A2

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 14.01.1998  Patentblatt  1998/03 (21) Anmeldenummer: 96907301.0 (22) Anmeldetag:  29.03.1996

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 25/ 18( . ) G07F 7/ 10( . ) H01L 23/ 58( . ) H01L 25/ 07( . ) G06K 19/ 073( . ) H01L 23/ 12( . ) H01L 25/ 065( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1996/000549 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1996/030944 (03.10.1996 Gazette  1996/44)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT CH DE ES FR GB IT LI (30) Priorität: 30.03.1995 DE 19951011775 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: GRUBER, Martin D-92421 Schwandorf (DE)