(19)

(11)

EP 0 823 129 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 11.02.1998  Patentblatt  1998/07 (21) Anmeldenummer: 96908022.0 (22) Anmeldetag:  09.04.1996

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/ 29( . ) G06K 19/ 077( . ) H01L 23/ 31( . ) H01L 25/ 065( . ) H01L 25/ 18( . ) G06K 19/ 073( . ) H01L 23/ 28( . ) H01L 23/ 58( . ) H01L 25/ 07( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1996/000616 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1996/034409 (31.10.1996 Gazette  1996/48)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT CH DE ES FR GB IT LI (30) Priorität: 25.04.1995 DE 19951015188 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: HOUDEAU, Detlef D-93047 Regensburg (DE) KIRSCHBAUER, Josef D-93476 Blaibach (DE) NIEDERLE, Christl D-81735 München (DE) STAMPKA, Peter D-92421 Schwandorf (DE) STECKHAN, Hans-Hinnerk D-81827 München (DE) (74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer  Ridlerstrasse 55 80339 München 80339 München (DE)