(19)

(11)

EP 0 826 241 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 04.03.1998  Patentblatt  1998/10 (21) Anmeldenummer: 96919546.0 (22) Anmeldetag:  15.05.1996

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 27/ 02( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1996/000859 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1996/036997 (21.11.1996 Gazette  1996/51)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB (30) Priorität: 19.05.1995 DE 19951018524 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: DRAXELMAYR, Dieter A-9500 Villach (AT) (74) Vertreter: MÜLLER & HOFFMANN Patentanwälte  Innere Wiener Strasse 17 81667 München 81667 München (DE)