VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER STRUKTURIERTEN MASKE - Patent 0829034

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EP 0 829 034 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	18.03.1998 Patentblatt 1998/12

(21)	Anmeldenummer: 95919922.0

(22)	Anmeldetag: 30.05.1995

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Internationale Patentklassifikation (IPC):

G03F 1/ 16^{( . )}

H01L 21/ 027^{( . )}

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/AT1995/000111

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 1996/038763 (05.12.1996 Gazette 1997/01)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	DE

(71)	Anmelder: IMS Ionen Mikrofabrikations Systeme Gesellschaft m.b.H.
	A-1020 Wien (AT)

(72)	Erfinder:
	VONACH, Herbert A-3400 Klosterneuburg (AT) CHALUPKA, Alfred A-1130 Wien (AT) LÖSCHNER, Hans A-1190 Wien (AT)

(74)	Vertreter: Matschnig, Franz, Dipl.-Ing.
	Siebensterngasse 54 Postfach 252 1071 Wien 1071 Wien (AT)

(54)	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER STRUKTURIERTEN MASKE